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      霍尼韋爾 Zephyr? HAF 系列——高精度 ±50 SCCM 至 ±750 SCCM

      霍尼韋爾 Zephyr? 模擬式氣體質(zhì)量流量傳感器:HAF 系列——高精度,±50 SCCM 至 ±750 SCCM
      霍尼韋爾 Zephyr? HAF 系列傳感器為指定的滿量程流量范圍及溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)讀取氣流數(shù)據(jù)提供一個(gè)數(shù)字界面。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助傳感器對(duì)空氣流或其他氣流做出快速響應(yīng)。Zephyr 傳感器旨在測量空氣和其他無腐蝕性氣體的質(zhì)量流量。標(biāo)準(zhǔn)流量范圍可在 ±50、±100、±200、±400 或 ±750 SCCM 下使用。還提供自定義流量范圍。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進(jìn)行全面的校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償。HAF系列可以對(duì)0 °C 至 50 °C [32 °F 至 122 °F] 的溫度范圍做出補(bǔ)償,并且可以在 -20 °C 至 70 °C [-4 °F 至 158 °F] 的溫度范圍中工作。先進(jìn)的基于 ASIC 的補(bǔ)償能夠?qū)崿F(xiàn)數(shù)字 (I2C) 輸出和 1 毫秒的響應(yīng)時(shí)間。這些傳感器根據(jù)熱傳遞原理測量氣流的質(zhì)量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機(jī)電傳感系統(tǒng) (MEMS) 組成,薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設(shè)計(jì)的氣流通道內(nèi),提供對(duì)于流量的可重復(fù)響應(yīng)。Zephyr 傳感器可以為客戶提供增強(qiáng)的可靠性、高準(zhǔn)確度、可重復(fù)測量等性能,并且能夠定制傳感器以滿足許多具體的應(yīng)用要求。堅(jiān)固外殼和穩(wěn)定基底相結(jié)合使得這些產(chǎn)品極其堅(jiān)固耐用。它們的設(shè)計(jì)與制造符合 ISO 9001 標(biāo)準(zhǔn)。
      霍尼韋爾 Zephyr? 數(shù)字式氣體質(zhì)量流量傳感器:HAF系列——高精度,±50 SCCM 至 ±750 SCCM 數(shù)據(jù)表
      霍尼韋爾 Zephyr? HAF 系列傳感器為指定的滿量程流量范圍及溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)讀取氣流數(shù)據(jù)提供一個(gè)數(shù)字界面。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助傳感器對(duì)空氣流或其他氣流做出快速響應(yīng)。Zephyr 傳感器旨在測量空氣和其他無腐蝕性氣體的質(zhì)量流量。標(biāo)準(zhǔn)流量范圍可在 ±50、±100、±200、±400 或 ±750 SCCM 下使用。還提供自定義流量范圍。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進(jìn)行全面的校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償。HAF系列可以對(duì)0 °C 至 50 °C [32 °F 至 122 °F] 的溫度范圍做出補(bǔ)償,并且可以在 -20 °C 至 70 °C [-4 °F 至 158 °F] 的溫度范圍中工作。先進(jìn)的基于 ASIC 的補(bǔ)償能夠?qū)崿F(xiàn)數(shù)字 (I2C) 輸出和 1 毫秒的響應(yīng)時(shí)間。這些傳感器根據(jù)熱傳遞原理測量氣流的質(zhì)量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機(jī)電傳感系統(tǒng) (MEMS) 組成,薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設(shè)計(jì)的氣流通道內(nèi),提供對(duì)于流量的可重復(fù)響應(yīng)。Zephyr 傳感器可以為客戶提供增強(qiáng)的可靠性、高準(zhǔn)確度、可重復(fù)測量等性能,并且能夠定制傳感器以滿足許多具體的應(yīng)用要求。堅(jiān)固外殼和穩(wěn)定基底相結(jié)合使得這些產(chǎn)品極其堅(jiān)固耐用。它們的設(shè)計(jì)與制造符合 ISO 9001 標(biāo)準(zhǔn)。

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