同軸流量測量
AWM5000 系列微橋氣體質(zhì)量流量傳感器采用文丘里管型流量外殼。該系列測量每分鐘高達(dá) 20 標(biāo)準(zhǔn)公升/每分鐘 (SLPM) 的氣流，同時(shí)產(chǎn)生 2.25" H2O 的最大壓降。微橋芯片直接與氣流接觸，大大減少了由于通氣孔或旁路堵塞引起的誤差。

堅(jiān)固、通用的封裝
堅(jiān)固的塑料封裝被設(shè)計(jì)為能承受最高 50 psi 的共模壓力，且小型傳感元件能承受 100 g 的沖擊，而不會影響性能。所配備的“AMP”兼容連接器能在要求嚴(yán)苛的應(yīng)用中提供十分可靠的連接。

內(nèi)置信號調(diào)節(jié)
每個(gè) AWM5000 傳感器都包括可執(zhí)行放大、線性化、溫度補(bǔ)償和氣體校準(zhǔn)的電路。無論流量范圍 (5、10、15 或 20 SLPM) 或校準(zhǔn)氣體（氮?dú)狻⒍趸肌⒁谎趸驓鍤猓┤绾危挟a(chǎn)品都可能達(dá)到 1 至 5 Vdc 的線性輸出。主動(dòng)激光可進(jìn)行所有校準(zhǔn)。

注意：產(chǎn)品損傷

AWM 系列微橋式氣體質(zhì)量流量傳感器不適用于測量液體流量，液體流過傳感器時(shí)會損壞傳感器。