產(chǎn)品介紹

LIK系列光柵尺特別適用于安裝空間有限的應(yīng)用。自帶2場(chǎng)EPIFLEX讀數(shù)模塊，也適用于惡劣的應(yīng)用環(huán)境。

性能特點(diǎn)

• 外殼版本1的LIK 21

• 帶EPIFLEX讀數(shù)模塊（2場(chǎng)掃描）

• 個(gè)性化的配置

• 1 Vpp或RS 422輸出信號(hào)

• 多達(dá)100倍的細(xì)分信號(hào)

• 最小測(cè)量步距僅50 nm

• 運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10 m/s（1 Vpp）

• 2場(chǎng)掃描，更強(qiáng)抗污能力

• 提供真空特殊版

技術(shù)參數(shù)

詳細(xì)參數(shù)

LIK21

LIK22

LIK23

產(chǎn)品應(yīng)用