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    系列名稱：EE-SPY801 / 802 晶圓片托架落座傳感器
        
                                            系列描述：
        信息更新: 2013年12月19日
        











        通過與導槽并用的方式設定落座位置
        





































        與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂
        





































        獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架
        





































        采用抗干擾光的變調光方式
        





































        使用環保導線（無滑石粉）
        


































        信息更新: 2013年12月19日

        
                                        
        
                                        
        
                                    
        
                                
        
                            
                        
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