多晶硅生產工藝

關于多晶硅生產工藝的實戰問題：

網友問：

多晶硅如何生產的？需要工業用水嗎？比如冷卻時要用的，用量大不大？水的作用是冷卻還是化學反應？？如果是冷卻的，可以循環利用嗎？

電子元件技術網答：

多晶硅的生產工藝主要由高純石英（經高溫焦碳還原）→工業硅（酸洗）→硅粉（加HCL）→SiHCL3（經過粗餾精餾）→高純SiHCL3（和H2反應CVD工藝）→高純多晶硅。需要用水的，很多。

四種主流的多晶硅生產工藝

1，硅烷法——硅烷熱分解法
硅烷（SiH4）是以四氯化硅氫化法、硅合金分解法、氫化物還原法、硅的直接氫化法等方法制取。然后將制得的硅烷氣提純后在熱分解爐生產純度較高的棒狀多晶硅。以前只有日本小松把握此技術，由于發生過嚴重的爆炸事故后，沒有繼續擴大生產。但美國Asimi和SGS公司仍采用硅烷氣熱分解生產純度較高的電子級多晶硅產品。

2，流化床法
以四氯化硅、氫氣、氯化氫和產業硅為原料在流化床內（沸騰床）高溫高壓下天生三氯氫硅，將三氯氫硅再進一步歧化加氫反應天生二氯二氫硅，繼而天生硅烷氣。
制得的硅烷氣通進加有小顆粒硅粉的流化床反應爐內進行連續熱分解反應，天生粒狀多晶硅產品。由于在流化床反應爐內參與反應的硅表面積大，生產效率高，電耗低與本錢低，適用于大規模生產太陽能級多晶硅。唯一的缺點是安全性差，危險性大。其次是產品純度不高，但基本能滿足太陽能電池生產的使用。
此法是美國聯合碳化合物公司早年研究的工藝技術。目前世界上只有美國MEMC公司采用此法生產粒狀多晶硅。此法比較適合生產價廉的太陽能級多晶硅。 

3，太陽能級多晶硅新工藝技術
除了上述改良西門子法、硅烷熱分解法、流化床反應爐法三種方法生產電子級與太陽能級多晶硅以外，還涌現出幾種專門生產太陽能級多晶硅新工藝技術。
1）冶金法生產太陽能級多晶硅
據資料報導[1]日本川崎制鐵公司采用冶金法制得的多晶硅已在世界上最大的太陽能電池廠（SHARP公司）應用，現已形成800噸/年的生產能力，全量供給SHARP公司。
主要工藝是：選擇純度較好的產業硅（即冶金硅）進行水平區熔單向凝固成硅錠，往除硅錠中金屬雜質聚集的部分和外表部分后，進行粗粉碎與清洗，在等離子體融解爐中往除硼雜質，再進行第二次水平區熔單向凝固成硅錠，往除第二次區熔硅錠中金屬雜質聚集的部分和外表部分，經粗粉碎與清洗后，在電子束融解爐中往除磷和碳雜質，直接天生太陽能級多晶硅。
2）氣液沉積法生產粒狀太陽能級多晶硅
據資料報導[1]以日本Tokuyama公司為代表，目前10噸試驗線在運行，200噸半貿易化規模生產線在2005-2006年間投進試運行。
主要工藝是：將反應器中的石墨管的溫度升高到1500℃，流體三氯氫硅和氫氣從石墨管的上部注進，在石墨管內壁1500℃高溫處反應天生液體狀硅，然后滴進底部，溫度回升變成固體粒狀的太陽能級多晶硅。
3）重摻硅廢物提純法生產太陽能級多晶硅
據美國Crystal Systems資料報導[1]，美國通過對重摻單晶硅生產過程中產生的硅廢物提純后，可以用作太陽能電池生產用的多晶硅，終極本錢價可看控制在20美元/Kg以下。
這里對幾家國內多晶硅廠和國外多晶硅廠的設備技術做些比較.

4，改良西門子法——閉環式三氯氫硅氫還原法
改良西門子法是用氯和氫合成氯化氫（或外購氯化氫），氯化氫和產業硅粉在一定的溫度下合成三氯氫硅，然后對三氯氫硅進行分離精餾提純，提純后的三氯氫硅在氫還原爐內進行CVD反應生產高純多晶硅。
國內外現有的多晶硅廠盡大部分采用此法生產電子級與太陽能級多晶硅。