半導體氣體傳感器是采用半導體材料的氣敏元件與測量氣體相接觸，其性質發生變化，從而檢測出氣體類別和濃度。

    半導體氣體傳感器按測量值的變化可分為電阻式和非電阻式兩種類型。電阻式是敏感材料與氣體相接觸時阻值會改變，電阻式可分為表面控制型傳感器和體控制型傳感器。非電阻式是由于吸附和反應，利用功函數直接或間接對氣體進行檢測，非電阻式可分為表面電位傳感器、二極管傳感器和晶體管傳感器。

    半導體氣體傳感器的特性主要有：氣體選擇特性；氣體濃度特性；初始穩定、氣敏響應和恢復特性；靈敏度與穩定性；溫濕度影響。首先得判斷氣體對哪種氣敏材料敏感；氣體濃度與傳感器的輸出關系稱為濃度特性；一般氣敏元件都有加熱器，在初始加熱階段，電阻值快速下降，直到穩定狀態，時間大約為2-10分鐘，只有達到這個狀態才能放入到氣體當中進行檢測。