當(dāng)前，在家庭安全、環(huán)境監(jiān)測、工業(yè)生產(chǎn)和醫(yī)療中，對氣體傳感器的使用要求越來越嚴(yán)格，也激勵了廣大生產(chǎn)廠家投入精力去研究和開發(fā)新產(chǎn)品。隨著電子技術(shù)和工藝技術(shù)的發(fā)展，傳感器越來越趨向微型化、智能化和多功能化。傳感器的發(fā)展建立在對其工作原理和作用機理理解的基礎(chǔ)上，選擇合適的敏感元件材料，運用機械加工技術(shù)、微電子技術(shù)和敏感薄膜成形技術(shù)等，使其性能最優(yōu)化。下面我們選用氣體傳感器來說明。

一、新型氣體傳感器的研制

    運用發(fā)現(xiàn)的新效應(yīng)，在傳統(tǒng)作用原理基礎(chǔ)上，選用成熟的材料，如硅、石英、陶瓷等，采用先進(jìn)的加工技術(shù)，研發(fā)新型的產(chǎn)品。近年研究的方向有高分子聲表面波和石英諧振式、光波導(dǎo)式、微生物和仿生氣體傳感器等等。這些成果使得傳感器的功能更加完善，性能更加穩(wěn)定。

二、新型氣敏材料與制作工藝研制

    目前，成熟的氣敏材料有Zn0，SIlo2，F(xiàn)e₂0₃，這也是經(jīng)過大量實驗跟實踐檢驗的結(jié)果?，F(xiàn)在，對于新材料和工藝這塊，有兩個發(fā)展方向：1、研制開發(fā)新的氣體敏感膜材料，如高分子氣敏材料、復(fù)合型和混合型半導(dǎo)體氣敏材料等，使得這些新材料對不同氣體具有高靈敏度、高穩(wěn)定性、高選擇性。2、利用化學(xué)修飾改性法，對現(xiàn)在使用的氣體敏感膜材料進(jìn)行表面修飾、摻雜和改性等處理，并對成膜工藝進(jìn)行研究，提高氣體傳感器的各項性能。

三、傳感器智能化

    隨著大規(guī)模集成電路技術(shù)、微機械加工技術(shù)、納米、薄膜技術(shù)等的發(fā)展，為傳感器的集成和智能化創(chuàng)造了條件，它可以進(jìn)行信號的模數(shù)轉(zhuǎn)換、智能補償、校準(zhǔn)、智能化傳感控制。這也是人們?nèi)找嬖鲩L的需求對氣體傳感器研制人員提出的要求。