隨著工業機器人的發展，機器人在測量中的應用也越來越受到重視。機器人測量具有在線、靈活、高效等特點，可以實現對零件100％的測量。因此特別適合于自動化制造系統中的工序間和過程測量。同坐標測量機相比，使用靈活且易入線。

機器人測量分直接測量和間接測量，直接測量稱為絕對測量，是由機器人參與測試和數據處理，它要求機器人具有較高的運動精度和定位精度，因此造價也較高。間接測量也稱輔助測量，特點是在測量過程中機器人坐標運動不參與測量過程，它的任務是模擬人的動作將測量工具或傳感器送至測量位置，由測量儀器完成測試和數據傳輸過程。間接測量對傳感器和測量裝置要求較高，由于允許機器人在測量過程中存在運動或定位誤差，因此，傳感器或測量儀器應具有一定的智能和柔性，能進行姿態和位置調整并獨立完成測量工作。

測量機器人可以是一般的通用工業機器人，如在車削自動線上，機器人可以在完成上下料工作后進行測量，而不必為測量專門設置一個機器人，使機器人在線具有多種用途。

由于機器人測量具有在線、靈活、高效等特點，特別適合于FMS中工序間和過程測量，在FMS中已得到廣泛的應用。