加速度傳感器廣泛應(yīng)用在消費(fèi)電子、汽車(chē)電子中，同時(shí)在醫(yī)療領(lǐng)域也有不少應(yīng)用。早前基于VTI公司的SCA600C13H1G型MEMS加速度傳感器，提出一種無(wú)創(chuàng)胎心檢測(cè)方法，研制出一種簡(jiǎn)單易學(xué)、直觀準(zhǔn)確的介于胎心聽(tīng)診器和多普勒胎兒監(jiān)護(hù)儀之間的臨床診斷和孕婦自檢的醫(yī)療輔助儀器。

SCA600C13H1G硅電容式加速度傳感器是由單晶硅和玻璃制成。這種設(shè)計(jì)能夠保證，隨著時(shí)問(wèn)和溫度的變化，產(chǎn)品具有很好的可靠性、準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。它的電容檢測(cè)原理簡(jiǎn)單而且可靠，是基于兩個(gè)平行板間距的變化來(lái)測(cè)量的。。

近日歐姆龍健康醫(yī)療公司在東京都內(nèi)召開(kāi)了記者發(fā)布會(huì)，發(fā)布了監(jiān)測(cè)睡眠狀態(tài)的產(chǎn)品“歐姆龍睡眠時(shí)間計(jì)HSL-002C”。該產(chǎn)品只需放在枕邊即可監(jiān)測(cè)用戶的睡眠狀態(tài)。利用內(nèi)置的加速度傳感器檢測(cè)寢具的運(yùn)動(dòng)，從而監(jiān)測(cè)從入眠到起床的睡眠時(shí)間。此次的機(jī)型新增了監(jiān)測(cè)睡眠中翻身動(dòng)作的功能。

利用加速度傳感器記錄睡眠中翻身頻率以及動(dòng)作，把監(jiān)測(cè)到的數(shù)據(jù)發(fā)送至智能手機(jī)應(yīng)用“睡眠體內(nèi)時(shí)鐘”，能顯示一天24小時(shí)當(dāng)中的睡眠時(shí)間、入睡所需時(shí)間以及夜里翻身的圖譜。根據(jù)“睡眠時(shí)間”、“起床時(shí)刻”、“就寢時(shí)刻”、“入睡時(shí)間”、“起床所花時(shí)間”五個(gè)指標(biāo)對(duì)發(fā)送至手機(jī)應(yīng)用的一周的數(shù)據(jù)進(jìn)行評(píng)價(jià)，將睡眠特征比作9種動(dòng)物進(jìn)行判定。

VTI的加速度傳感器是基于已經(jīng)得到證明的3DMEMS技術(shù)制作的。三維微電子機(jī)械系統(tǒng)（3D-MEMS），是各種技術(shù)的創(chuàng)新性組合，可以將硅加工成三維結(jié)構(gòu)，其封裝和觸點(diǎn)便于安裝和裝配，用這種技術(shù)制作的傳感器具有極好的精度、極小的尺寸和極低的功耗。一個(gè)高級(jí)的傳感器僅由一小片硅就能制作出來(lái)，并能測(cè)量三個(gè)互相垂直方向的加速度。