“MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)微機(jī)電系統(tǒng)正發(fā)展成為一個(gè)巨大的產(chǎn)業(yè)。微機(jī)電系統(tǒng)則是指微小的機(jī)械電子系統(tǒng)，例如比一粒花生米還要小的飛機(jī)或汽車(chē)，是由很多只有幾百微米大小的零件組成的，而這些零件是用微電子等微細(xì)加工技術(shù)制備出來(lái)的，既包含機(jī)械部件又包含電子部件。

　　小身材，大用途，看看麻省理工開(kāi)發(fā)的生產(chǎn)這些微型系統(tǒng)的新辦法吧～”

　　MEMS的特點(diǎn)可歸結(jié)為三“M”,即微小型化(miniaturization)、多樣性(multiplie-ity)和微電子技術(shù)(mieroeleetronies)。MEMS技術(shù)通過(guò)微型化和集成化開(kāi)辟了一個(gè)全新的領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè),它可以完成大尺寸機(jī)電系統(tǒng)所不能完成的任務(wù),也可嵌人大尺寸系統(tǒng)中, 把自動(dòng)化、智能化和可靠性提高到一個(gè)新的水平。

　　MEMS的特點(diǎn)是微小但功能強(qiáng)大，雖然身材“短小”，其尺寸通常為1至100微米，但其在航空、航天、汽車(chē)、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境監(jiān)控、軍事以及幾乎人們所接觸到的所有領(lǐng)域中都有著十分廣闊的應(yīng)用前景。

　　例如微加速度計(jì)可以用于汽車(chē)的安全氣囊，當(dāng)汽車(chē)發(fā)生碰撞等交通事故時(shí)，汽車(chē)的加速度會(huì)很大，這時(shí)通過(guò)微加速度計(jì)可以判斷是否發(fā)生撞車(chē)事故。若發(fā)生交通事故，微加速度計(jì)即可以發(fā)出指令，使安全氣囊及時(shí)彈出，保護(hù)司機(jī)和乘客的安全。又如，微慣性傳感器及其組成的微型慣性測(cè)量組合系統(tǒng)能應(yīng)用于制導(dǎo)系統(tǒng)、衛(wèi)星控制系統(tǒng)、汽車(chē)自動(dòng)駕駛儀、汽車(chē)防抱死系統(tǒng)(ABS)、穩(wěn)定控制系統(tǒng)和玩具；微流量系統(tǒng)和微分析儀可用于微推進(jìn)、傷員救護(hù)。MEMS系統(tǒng)還可以用于醫(yī)療、高密度存儲(chǔ)和顯示、光譜分析、信息采集等等。現(xiàn)在已經(jīng)成功地制造出了尖端直徑為5μm的可以?shī)A起一個(gè)紅細(xì)胞的微型鑷子，3mm大小的能夠開(kāi)動(dòng)的小汽車(chē)，可以在磁場(chǎng)中飛行的像蝴蝶大小的飛機(jī)等。