1920年，捷克劇作家卡里洛·奇別克在其科幻劇本《羅薩姆萬能機器人制造公司》（Rossum‘s Universal Robots）首次使用了ROBOT這個名詞，之后便成為機器人的代名詞。

　　1938年3月，The Meccano Magazine報道了一款搬運機器人模型，這是最早的關于以工業應用為目標的機器人模型的報道。它由Griffith P．Taylor于1935年設計，可以通過一個電動機實現5個軸的運動。到了1954年，美國的G.C.Devol設計出第一臺電子可編程序的工業機器人。而1960年美國AMF公司生產了柱坐標型Versatran機器人，可進行點位和軌跡控制，這是世界上第一種應用于工業生產的機器人。

　　在1974年，Cincinnati Milacron公司成功開發了多關節機器人。到了1979年，Unimation公司推出PUMA機器人，它是一種多關節、全電機驅動、多CPU二級控制的機器人，采用VAL專用語言，可配視覺、觸覺、力覺傳感器，在當時是技術最先進的工業機器人。現在的工業機器人在結構上大體都以此為基礎。這一時期的機器人屬于“示教再現”（Teach-in/Playback）型機器人，只具有記憶、存儲能力，按相應程序重復作業，對周圍環境基本沒有感知與反饋控制能力。

　　進入80年代，隨著傳感技術，包括視覺傳感器、非視覺傳感器以及信息處理技術的發展，出現了第二代機器人——有感覺的機器人。它能夠獲得作業環境和作業對象的部分相關信息，進行一定的實時處理，引導機器人進行作業。第二代機器人已在工業生產中得到了廣泛應用。

　　目前各國正在研究的“智能機器人”，它不僅具有比第二代機器人更加優秀的環境感知能力，而且還具有邏輯思維、判斷和決策能力，可根據作業要求與環境信息自主地進行工作。