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      科普知識
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      氣體傳感器

      金屬氧化物傳感器:什么是金屬氧化物(MOX)氣體傳感器

      發布日期:2022-10-09 點擊率:240


      金屬氧化物傳感器:什么是金屬氧化物(MOX)氣體傳感器

      MOX氣體傳感器是一種以多芯片組件(MCM)形式制造的MEMS器件(微機電系統)。MCM的基本組件是在晶片上預先測試的微控制器專用集成電路(ASIC)和本測試應用的對象傳感器。這些組件被放置在一個共同的基板上,一個蓋子被放置在組件上,蓋子上有一個小孔或網格,允許氣體進入傳感器。

      該傳感器由一個小型加熱元件組成,該加熱元件容納在涂有專有金屬氧化物材料的薄膜下。MOX材料是可變電阻器,可對所接觸的氣體中的化學物質做出響應。MOX可以制定為對某些類型或類別的氣體(稱為目標氣體)做出不同的響應。在“干凈”空氣的環境中,MOX的電阻可能為數兆歐。當加熱時,在目標氣體的存在下,MOX材料的電阻顯著下降,降至數十千歐。當去除熱量施加和/或消除測試氣體時,MOX電阻返回其先前值。

      通過施加受控的熱量,在存在清潔空氣的情況下測量MOX涂層的電阻,然后在空氣中以受控量的目標氣體測量MOX涂層的電阻(以百萬分之一為單位) ,這兩個測量值的比率可用于校準設備。在實際操作中,經過校準的MOX電阻測量值指示環境中目標氣體的密度。

      通過施加受控的熱量,在存在清潔空氣的情況下測量MOX涂層的電阻,然后在空氣中以受控量的目標氣體測量MOX涂層的電阻(以百萬分之一為單位) ,這兩個測量值的比率可用于校準設備。在實際操作中,經過校準的MOX電阻測量值指示環境中目標氣體的密度。

      傳感器加熱器和MOX測量的控制以及設備寄存器的讀/寫由控制器ASIC執行,后者又由測試系統通過I2C接口控制。I2C接口是一個四線總線,由兩線I2C總線(SCL和SDA)、中斷信號和復位信號組成。圖1詳細說明了組成MOX傳感器MCM設備的組件。

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      ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 圖1:MOX氣體傳感器的芯片模塊

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      ? ? ? 虹科是一家在測試測量行業經驗超過10年的高科技公司,虹科與世界知名的測量行業巨頭公司Marvin Test以及Pickering Interface合作多年,提供領域內頂尖水平的基于PXI/PXIe/PCI/LXI平臺的多種功能模塊,以及自動化測試軟件平臺和測試系統。事業部所有成員都受過國內外專業培訓,并獲得專業資格認證,所有工程師平均5年+技術經驗和水平一致贏得客戶極好口碑。我們積極參與行業協會的工作,為推廣先進技術的普及做出了重要貢獻。至今,虹科已經為全國用戶提供了100+不同的解決方案和項目,并且獲得了行業內用戶極好口碑。

      金屬氧化物傳感器:什么是金屬氧化物(MOX)氣體傳感器  第1張

      金屬氧化物傳感器:英國Alphasense 金屬氧化物傳感器 CO傳感器 - CO-MFF,CO-PFF,CO-AFF 金屬氧化物傳感器,CO傳感器金屬氧化物傳感器 CO傳感器CO-MFF,CO-PFF,CO-AFF能

      英國Alphasense 金屬氧化物傳感器 CO傳感器 - CO-MFF,CO-PFF,CO-AFF金屬氧化物傳感器,CO傳感器金屬氧化物傳感器 CO傳感器CO-MFF,CO-PFF,CO-AFF能在電化學傳感器無法勝任的極端溫度和濕度環境下正常工作,另外背部集成一個過濾裝置,使其對CO具有選擇性。
      一、金屬氧化物傳感器 CO傳感器CO-MFF,CO-PFF,CO-AFF描述:
      金屬氧化物傳感器 CO傳感器CO-MFF,CO-PFF,CO-AFF能在周圍環境條件下運行良好,也能在電化學傳感器無法勝任的極端溫度和濕度環境下正常工作。
      此外,本金屬氧化物傳感器裝配有一個過濾裝置,使其對CO具有選擇性。
      與常見的n型傳感器不同,本金屬氧化物傳感器的動態范圍大、響應可重復、受濕度影響小,并且遇大多數CO電阻會上升。
      通過簡單的電氣線路可將電阻的改變轉換成輸出電壓。
      二、金屬氧化物傳感器 CO傳感器CO-MFF,CO-PFF,CO-AFF特性:
      動態范圍大
      響應可重復
      受濕度影響小
      內部有過濾網,對CO氣體選擇性好
      三、金屬氧化物傳感器 CO傳感器CO-MFF,CO-PFF,CO-AFF性能
      范圍 能保證產品性能的CO測量限值(ppm) 5~500
      傳感器電阻(R0) kΩ (50% rh, 23 (± 2)℃) 135±25
      傳感器電阻(Rg) kΩ;CO@空氣中10ppm 160 ±10
      傳感器電阻比(R9/R0*100%) %;CO@空氣中10ppm 120 ±3
      氣體響應關系 (Rg/Ro - 1=k.Conc) 5-50ppm 0.01 ±10%
      氣體響應關系(Rg/Ro - 1=k.Conc0.5) 50-500ppm 0.08 ±15%
      加熱電阻(RH @ RT) Ω (23±1℃) 10 ±1.5
      加熱電阻(RH @傳感溫度) Ω (400 ±10℃) 22 ±3
      加熱電阻(RH @ 重置溫度) Ω (525±10℃) 26 ±3
      5:1循環時典型加熱功耗(mW) VH=2.7 ±0.2V (400℃) 340 ±30
      3.7 ±0.3V (525℃) 530 ±50
      工作溫度范圍 ℃ -20~120
      金屬氧化物傳感器:什么是金屬氧化物(MOX)氣體傳感器  第2張

      金屬氧化物傳感器:英國Alphasense 金屬氧化物傳感器 CO傳感器

      產品介紹

      一、金屬氧化物傳感器 CO傳感器CO-MFF,CO-PFF,CO-AFF描述:
      金屬氧化物傳感器 CO傳感器CO-MFF,CO-PFF,CO-AFF能在周圍環境條件下運行良好,也能在電化學傳感器無法勝任的極端溫度和濕度環境下正常工作。
      此外,本金屬氧化物傳感器裝配有一個過濾裝置,使其對CO具有選擇性。
      與常見的n型傳感器不同,本金屬氧化物傳感器的動態范圍大、響應可重復、受濕度影響小,并且遇大多數CO電阻會上升。
      通過簡單的電氣線路可將電阻的改變轉換成輸出電壓。

      二、金屬氧化物傳感器 CO傳感器CO-MFF,CO-PFF,CO-AFF特性:
      動態范圍大
      響應可重復
      受濕度影響小
      內部有過濾網,對CO氣體選擇性好

      三、金屬氧化物傳感器 CO傳感器CO-MFF,CO-PFF,CO-AFF性能

      范圍

      能保證產品性能的CO測量限值(ppm)

      5~500

      傳感器電阻(R0)

      kΩ (50% rh, 23 (± 2)℃)

      135±25

      傳感器電阻(Rg)

      kΩ;CO@空氣中10ppm

      160 ±10

      傳感器電阻比(R9/R0*100%)

      %;CO@空氣中10ppm

      120 ±3

      氣體響應關系 (Rg/Ro - 1=k.Conc)

      5-50ppm

      0.01 ±10%

      氣體響應關系(Rg/Ro - 1=k.Conc0.5)

      50-500ppm

      0.08 ±15%

      加熱電阻(RH @ RT)

      Ω (23±1℃)

      10 ±1.5

      加熱電阻(RH @傳感溫度)

      Ω (400 ±10℃)

      22 ±3

      加熱電阻(RH @ 重置溫度)

      Ω (525±10℃)

      26 ±3

      5:1循環時典型加熱功耗(mW)

      VH=2.7 ±0.2V (400℃)

      340 ±30

      3.7 ±0.3V (525℃)

      530 ±50

      工作溫度范圍

      -20~120

      金屬氧化物傳感器:什么是金屬氧化物(MOX)氣體傳感器  第3張

      金屬氧化物傳感器:金屬氧化物半導體傳感器(MOS)的喜與憂

      在氣溫多變(上至50℃下至25℃左右)且濕度大的氣候環境下,例如中東地區,MOS(金屬氧化物半導體)傳感器被視為能夠勝任高難度硫化氫檢測任務的解決方案之一 。
      但是,用戶和氣體檢測人士已經意識到,MOS傳感器并非最為可靠的檢測技術。此文闡述了為何該技術難以維持,以及用戶可能面臨哪些問題。
      MOS傳感器
      MOS傳感器技術其中一個主要缺點在于,當傳感器在一段時間內未感應到氣體時,很容易會“進入休眠狀態”。對于在相關區域內工作的操作人員而言,這無疑將是一個巨大的安全隱患,因為沒有人愿意看到面前的氣體檢測器無法檢測到氣體。
      MOS 傳感器需要使用一個加熱器進行平衡,使其生成的檢測讀取值保持一致性。然而,首次開啟時,加熱器的加熱過程需要耗費一些時間,使得從傳感器開啟到檢測出有害氣體時發出響應之間存在一個明顯的時間延遲。因此,MOS制造商建議用戶在進行校準前,對傳感器進行24-48小時平衡處理。一些用戶可能認為這會耽誤生產,而且還會延長維護時間。
      加熱器的加熱過程不僅僅耗費時間, 還將耗費大量電能,從而額外產生直流電源線內溫度急劇變化的問題,造成檢測頭電壓變化,以及氣體水平讀取值不準確。
      正如金屬氧化物半導體的名稱所示,傳感器采用半導體材料,已證明這種材料會隨著濕度變化而發生漂移,因此對于中東地區潮濕的氣候條件而言,并非十分理想。在其他行業,半導體通常采用環氧樹脂進行封裝,以避免出現上述問題,但在氣體傳感器中,這層涂層會影響氣體檢測機制,因為由此會使氣體無法到達半導體所在位置。此設備還會受到中東地區當地的砂粒形成的酸性環境的作用,從而影響到導電率以及氣體讀取值的準確性。
      MOS傳感器另一個顯著安全問題是,當硫化氫濃度值接近于零時,可能會產生錯誤報警。很多情況下,在使用傳感器時,控制面板設置為“零點抑制”。這意味著,當硫化氫濃度值開始上升一段時間后,控制面板讀取值可能仍會顯示為零。當存在較低濃度的氣體顯示延后的情況,則可能會導致延遲嚴重氣體泄漏警告、影響人員疏散時機,從而對生命造成極大風險。
      MOS傳感器具有可以快速對硫化氫作出響應的極佳特性,如果需要采用燒結片,便會減弱這種性能優勢。由于硫化氫是一種“吸附性”氣體,因此可以吸附到包括燒結片在內的物體上,從而降低了氣體到達傳感器的速度。
      為了克服MOS傳感器具有的缺陷,我們對所采用的電化學技術重新進行了研究并加以改進,推出了用于XgardIQ的全新高溫(HT)硫化氫傳感器組件。利用我們全新的研發成果,可實現在最高70°C,相對濕度 0-95% 條件下運行,尤其在中東地區嚴苛的溫度條件下運行效果很好。
      我們全新的 HT 硫化氫檢測器適用于高溫條件下的硫化氫氣體檢測,防止其在執行任務時休眠哦!

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