一維位置傳感器：PSD位置傳感器
1.PSD傳感器介紹
psd位置傳感器是一種能測量光點在探測器表面上連續(xù)位置的光學(xué)探測器。是一種新型的光電器件，或稱為坐標(biāo)光電池。它是一種非分割型器件，可將光敏面上的光點位置轉(zhuǎn)化為電信號。psd由p襯底、pin 光電二極管及表面電阻組成。具有位置分辨率高，響應(yīng)速度快和處理電路簡單等優(yōu)點。
2.PSD傳感器特性
位置分辨率高;
可減少來自日光和日光燈的干擾;
極間電阻高(對于S3271～S3274 系列) ;
響應(yīng)速度高(對于S3271～S3274 系列) ;
可以同時測量位置和強度;
檢測數(shù)據(jù)只與光點的能量中心有關(guān);
可靠性高。
3.PSD工作原理
PSD分兩種類型：一維PSD（稱1D-PSD）和兩維PSD（稱2D-PSD）探測器。
如圖1截面圖所示，PSD由在平面硅襯底上的三層組成：P型層在表面，N型層在另一面，I層在它們中間。落在PSD上的入射光轉(zhuǎn)換成光電子后由P型層上兩端電極探測并形成光電流。
當(dāng)一束光落在PSD上，相應(yīng)于光能量的電荷在入射點產(chǎn)生，電荷通過P型電阻層被電極收集。P型層是均勻一體的電阻層，被電極收集到的光電流與入射點和電極間距成反比。由此可得出如下公式：I1和I2是電極的光電流，L和I0分別代表電極間距和總光電流。
由公式（3），（4），（7），（8）顯示，不同的比率可得出相應(yīng)的與光能量無關(guān)的入射光點的位置。
4.PSD常見型號
2D-PSD是一種改進(jìn)型四側(cè)面結(jié)構(gòu)，包括改進(jìn)敏感面和電極。另外，器件暗電流小，響應(yīng)速度高和設(shè)置偏壓容易，邊緣畸變小。
1D-PSD，2D-PSD分別是1D-PSD和2D-PSD非調(diào)制信號處理板。只要簡單地把處理板連接電源，位置信號就能精確得到。
1.一維PSD位置傳感器
PSD-0220（1D-PSD）
有效光敏面 2.0×20mm
分辨率 1μm 光譜
響應(yīng)范圍 380～1100nm
響應(yīng)時間 1μs
工作溫度 -10～60℃
PSD-2534（1D-PSD）
有效光敏面 2.5×34mm
分辨率 1μm
光譜響應(yīng)范圍 380～1100nm
響應(yīng)時間 5μs
工作溫度 -10～60℃
PSD-1315（1D-PSD）
有效光敏面 1.3×15mm
分辨率 0.1μm
光譜響應(yīng)范圍 380～1100nm
響應(yīng)時間 0.8μs
工作溫度 -10～60℃
2.二維PSD位置傳感器
PSD-1010（2D-PSD）
有效光敏面 10×10mm
分辨率 1μm
光譜響應(yīng)范圍 380～1100nm
響應(yīng)時間 0.8μs
工作溫度 -10～60℃
PSD-1515（2D-PSD）
有效光敏面 15×15mm
分辨率 1μm
光譜響應(yīng)范圍 380～1100nm
響應(yīng)時間 0.8μs
工作溫度 -10～60℃
PSD-2121（2D-PSD）
有效光敏面 21×21mm
分辨率 2μm
光譜響應(yīng)范圍 380～1100nm
響應(yīng)時間 1μs
工作溫度 -10～60℃
PSD-2727（2D-PSD）
有效光敏面 27×27mm
分辨率 2μm
光譜響應(yīng)范圍 380～1100nm
響應(yīng)時間 2μs
工作溫度 -10～60℃
PSD-4343（2D-PSD）
有效光敏面 43×43mm
分辨率 5μm
光譜響應(yīng)范圍 380～1100nm
響應(yīng)時間 5μs
工作溫度 -10～60℃
一維位置傳感器：一維PSD位置傳感器QY-PSD018(圖)
品牌:青岳 型號:QY-PSD018 種類:位置 材料物理性質(zhì):半導(dǎo)體 材料晶體結(jié)構(gòu):單晶 制作工藝:集成 輸出信號:模擬型 靈敏度:1um
PSD是測量光斑在探測器表面連續(xù)位置的光學(xué)探測器。PSD的位置分辨率高,可以**,外圍處理電路簡單,使用靈活等特點.我們是*的位置傳感器制造商,可以提供各種規(guī)格的PSD位置傳感器,同時,提供*的PSD位置傳感器訂做.
主要參數(shù):
*光敏面 1×8mm
分辨率 0.1μm
光譜響應(yīng)范圍 4000～1100nm
響應(yīng)時間 0.5μs
一維位置傳感器：基于一維PSD位置傳感器激光三角法測量振動
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一維位置傳感器：基于一維運動機構(gòu)和二維位置傳感器的六自由度定位系統(tǒng)
G01C21/00;
權(quán)利要求說明書
說明書
幅圖
（
54
）發(fā)明名稱
基于一維運動機構(gòu)和二維位置傳感器的六自由度定位系統(tǒng)
（
57
）摘要
?
基于一維運動機構(gòu)和二維位置傳感器的六
自由度定位系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括半導(dǎo)體激光器、光
纖準(zhǔn)直器、光纖分路器、濾光片、兩個一維運動
機構(gòu)、三個
PSD
傳感器及信號處理系統(tǒng)。半導(dǎo)體
激光器發(fā)射的激光照射到光纖準(zhǔn)直器，后經(jīng)光纖
分路器分成三路，三路光經(jīng)輸出光纖和濾光片
后，分別由三個
PSD
傳感器接收；激光光斑在三
個
PSD
傳感器的位置和兩個一維運動機構(gòu)的位移
