發布日期：2022-10-09 點擊率：503
MEMS傳感器即微機電系統（Micro-electro Mechanical Systems），是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。與傳統的傳感器相比，具有體積小、成本低、功耗低、可靠性高、易于集成等特點。歐姆龍MEMS流量傳感器，采用其獨創的高精度加工技術，將流量傳感器核心器件封裝在尺寸僅為1.5*1.55*0.4mm的MEMS芯片里面。這種超精細的MEMS傳感器，不但能檢測1毫米/秒的氣體流速變化，還能高精度地實現大批量生產。
流量傳感器內部結構
這種傳感器芯片采用使用熱線的質量流量檢測方式。其芯片中央具有加熱器，上游側的熱電堆 (A)及下游側熱電堆 (B)配置在加熱器的 兩側，熱電堆附近配置有基座測溫體，它們均是采用半導體工藝制造的。加熱器和熱電堆列組的底部形成空腔，使得熱電堆可高效檢測加熱器的熱量。
流量傳感器的檢測原理
通過給MEMS芯片加恒定電流，使芯片中央的加熱器產生熱量。沒有風通過時，加熱器上游熱電堆和下游熱電堆由于熱平衡的關系，兩者對應的熱電動勢電壓相等，即Vu=Vd。當有氣體流動時，熱源隨氣流方向向下游轉移，此時下游熱電堆的電動勢變大，即Vd＞ Vu。兩個熱電堆的輸出差大致與通過傳感器表面的氣體質量流量的平方根成正比。輸出靈敏度和質量流量取決于氣體的組成比。微小的信號可以通過放大電路進行放大，再以電子方式檢測氣體流量。風量傳感器經調整后輸出的電壓與質量流量為 25°C、 101.3kPa 時的流速相當。
流量傳感器的應用
堵塞檢測---投影儀、PC機、服務器
燃燒控制---燃料電池、熱水器、鍋爐
風量檢測---管道、氣流測量、空調
加料速率控制---麻醉儀、制氧機
歐姆龍D6F系列流量傳感器種類
廣州鼎悅電子科技有限公司，專業代理歐姆龍電子元器件，為您提供各類傳感器、開關、繼電器，以及連接器。歡迎跟我們了解!
歐姆龍技術
MEMS流量傳感器
產品特點
能大限度發揮燃料電池發電效率的高精度MEMS流量傳感器
技術特點
應用氣體流量測試技術檢測僅為1毫米/秒的氣體流量
能大限度發揮燃料電池發電效率的高精度MEMS流量傳感器
作為減輕環境負擔的新一代燃料電池系統零部件，MEMS流量傳感器發揮著重要的作用。
燃料電池的原理就是將城市燃氣中含有的氫氣與氧氣混合在一起，產生化學反應進行發電。為了盡量提高發電效率，需要使氫氣與氧氣在合適的混合比率的情況下進行燃燒。為了達到這一目的，需要發揮MEMS流量傳感器的高精度測試技術。
歐姆龍采用獨創的超細微加工技術，開發了裝配有流速檢測元件的MEMS流量傳感器。擁有引以為傲的高級別靈敏度，甚至是1毫米/秒的氣體流速變化也能精確檢測。隨著燃料電池的普及，對歐姆龍小型、高性能MEMS流量傳感器用途的期待也不斷高漲。
技術特長氣體流量檢測技術
應用氣體流量檢測技術，檢測僅為1毫米/秒的氣體流量
為了檢測微量的流速，就需要縮小裝在MEMS流量傳感器檢測部位的MEMS流量傳感器芯片。通過充分發揮歐姆龍獨創的高精度加工技術，創造出小尺寸(1.55毫米 x 1.55毫米，厚0.4毫米)的芯片。
其測試原理如圖所示，在沒有氣體流動的情況下以加熱器為中心，溫度分布左右對稱；如有氣體流動，加熱器排出的風的上方就會變冷，風的下方就會變熱，從而導致溫度失衡。此溫度差作為兩個熱電偶的電動勢差，可用于檢測流速及流量。
另外，通過應用歐姆龍獨創的蝕刻技術等，即使是這種超精細的MEMS，也能高精度地實現質量穩定的大批量生產。憑借這種高度的MEMS生產性，歐姆龍大幅度降低了產品成本，從而不僅在燃料電池方面，還可廣泛應用于檢測精密設備的空冷狀態等各種領域。
歐姆龍技術
視覺傳感器
印刷電路板外觀檢查裝置
自動檢票機
安全光幕
面部識別傳感器
中心動脈血壓檢測儀
超薄型FPC接口
汽車無鑰匙門禁系統
大容量直流繼電器
MEMS流量傳感器
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-012 -012 線性位移傳感器 - LVDT
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-006 -006 線性位移傳感器 - LVDT
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-012 -012 線性位移傳感器 - LVDT
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電氣特征
線性位移傳感器 - LVDT/LVIT 電源電壓?(V):
±15
模擬輸出?:
±10 V
電氣連接?:
PT02A-10-6P
主體特性
線性位移傳感器 - LVDT/LVIT 外形尺寸?:
圓柱形
彈簧回彈式?:
分離式鐵芯, 分離式鐵芯
殼體特性
線性位移傳感器 - LVDT/LVIT 外殼材料?:
不銹鋼
外殼直徑?:
4.78?mm?[?.188?in?]
使用環境
工作溫度范圍?:
0 – 70?°C?[?32 – 158?°F?]
環境規范?:
1,000 PSI 壓力
...
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-M -M 角位移傳感器 - RVDTRVIT
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產品類型特性
角度位移傳感器 - RVDT/RVIT 類型?:
RVDT
結構特性
電氣連接?:
M12.5 針
電氣特征
Input Current (Max)?(mA):
25
角度位移傳感器 - RVDT/RVIT 輸出類型?:
0 – 10 VDC
主體特性
角度感應范圍?(°):
0 – 120
角度位移傳感器 - RVDT/RVIT 重量?(g):
99
外殼材料?:
鋁
機械附件
角度位移傳感器 - RVDT/RVIT 安裝?:
Servo Groove
...
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-00 -00 即插即用加速度傳感器
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產品類型特性
加速度計類型?:
MEMS DC
即插即用加速度計傳感器類型?:
直流響應即插即用加速度計
結構特性
電氣連接?:
5 針連接器
電氣特征
滿量程輸出電壓?(VDC):
±2
勵磁電壓?(VDC):
4 – 30
零加速輸出?(mV):
±50
信號特征
頻率響應?(Hz):
0-1500
主體特性
軸數?:
1
重量?:
16?g?[?.56?oz?]
材料?:
不銹鋼
...
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-1 -1 角度位置傳感器 - 空心軸旋轉變壓器
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結構特性
Resolver Size?:
21
Pole Pairs?:
1
其他
Angular Error?('):
20
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315-120 315-120 即插即用加速度傳感器
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產品類型特性
即插即用加速度計傳感器類型?:
電纜組件
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-00 341A-240 即插即用加速度傳感器
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產品類型特性
即插即用加速度計傳感器類型?:
電纜組件
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4000A-005-060 4000A-005-060 即插即用加速度傳感器
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產品類型特性
加速度計類型?:
MEMS DC
即插即用加速度計傳感器類型?:
直流響應即插即用加速度計
結構特性
電氣連接?:
一體式電纜
電氣特征
滿量程輸出電壓?(VDC):
±2
勵磁電壓?(VDC):
8 – 36
零加速輸出?(mV):
±100
勵磁電流?(mA):
5
信號特征
頻率響應?(Hz):
0-300
主體特性
軸數?:
1
重量?:
7?g?[?.245?oz?]
...
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4000A-050-030 4000A-050-030 即插即用加速度傳感器
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產品類型特性
加速度計類型?:
MEMS DC
即插即用加速度計傳感器類型?:
直流響應即插即用加速度計
結構特性
電氣連接?:
一體式電纜
電氣特征
滿量程輸出電壓?(VDC):
±2
勵磁電壓?(VDC):
8 – 36
零加速輸出?(mV):
±100
勵磁電流?(mA):
5
信號特征
頻率響應?(Hz):
0-800
主體特性
軸數?:
1
重量?:
7?g?[?.245?oz?]
...
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603-0100-120 603-0100-120 速率和慣性傳感器
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產品類型特性
速率和慣性傳感器類型?:
Rate Sensors/Gyros
電氣特征
勵磁電壓?(VDC):
5 – 16
尺寸
尺寸 MM?:
20.8 x 20.8 x 14.5
使用環境
工作溫度范圍?:
-40 – 105?°C?[?-40 – 221?°F?]
包裝特性
速率和慣性傳感器包裝?:
Anodized Aluminium
其他
精確度?:
±0.5% Non-Linearity
FS 范圍 (±) DEG/SEC?:
100...
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-00 610-12K-276 速率和慣性傳感器
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產品類型特性
速率和慣性傳感器類型?:
Rate Sensors/Gyros
電氣特征
勵磁電壓?(VDC):
5 – 16
尺寸
尺寸 MM?:
14.6 x 10.2 x 7.6
使用環境
工作溫度范圍?:
-40 – 105?°C?[?-40 – 221?°F?]
包裝特性
速率和慣性傳感器包裝?:
Anodized Aluminium
其他
精確度?:
±0.5% Non-Linearity
FS 范圍 (±) DEG/SEC?:
...
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-000 -000 位置傳感器配套儀表
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電氣特征
線路電源電壓要求?(VDC):
±12, ±15
信號調節 - LVDT/RVDT 輸出類型?(VDC):
±10
勵磁電壓?(Vrms):
3
信號特征
勵磁頻率?(kHz):
2.5 – 10
機械附件
信號調節 - LVDT/RVDT 安裝?:
Printed Circuit Board Edge or Terminal Block
使用環境
工作溫度范圍?:
-1 – 55?°C?[?30 – 130?°F?]
其他
傳感器類型?:
帶 5 或 6 根導線的 LVDT 或 RVDT
傳感器通道?:
1
...
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-000 -000 線性位移傳感器 - LVDT
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使用環境
工作溫度范圍?:
5 – 60?°C?[?41 – 140?°F?]
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7104A-0050 7104A-0050 即插即用加速度傳感器
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產品類型特性
加速度計類型?:
IEPE
即插即用加速度計傳感器類型?:
交流響應即插即用加速度計
結構特性
電氣連接?:
10-32 同軸連接器
電氣特征
滿量程輸出電壓?(VDC):
±5
勵磁電壓?(VDC):
18 – 30
勵磁電流?(mA):
2 – 10
信號特征
頻率響應?(Hz):
0.3-
主體特性
軸數?:
1
重量?:
8.6?g?[?.303?oz?]
材料?:
不銹鋼
...
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-020 -020 傾角傳感器和傾角儀
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結構特性
接口?:
模擬
電氣特征
電源電壓?(VDC):
12 – 24
模擬接口?(mA):
4 – 20
端接特性
傾角傳感器和測斜儀安裝?:
垂直
尺寸
尺寸?(mm):
最多 70
傾角傳感器和測斜儀精確度?(°):
最多 +/- .5
分辨率?(°):
最多 +/- .01
使用環境
測量原理?:
液體
工作溫度范圍?:
-25 – 60?°C?[?-13 – 140?°F?]
包裝特性
傾...
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-00 AST4300AP4P1000 壓力傳感器
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產品類型特性
壓力傳感器類型?:
非易燃壓力變送器
壓力類型?:
測量儀
結構特性
壓力端口/接頭?:
1/4 MNPT
電氣連接?:
10 英尺導管
電氣特征
壓力傳感器電源電壓?(V):
10 – 28
主體特性
端口材料?:
316L
使用環境
壓力?:
344.73?bar?[?5000?psi?]
工作溫度范圍?:
-40 – 80?°C?[?-40 – 176?°F?]
操作/應用
耐壓范圍?:
2X，最小值
...
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-00 AST4600AP4W1000 壓力傳感器
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產品類型特性
壓力傳感器類型?:
防爆型壓力變送器
壓力類型?:
測量儀
結構特性
壓力端口/接頭?:
1/4 MNPT
電氣連接?:
導管 2 m 引線
電氣特征
壓力傳感器電源電壓?(V):
10 – 28
主體特性
端口材料?:
316L
使用環境
工作溫度范圍?(°C):
-40 – 85
工作溫度范圍?(°F):
-40 – 185, -40 – 185
操作/應用
耐壓范圍?:
2X，最小值
...
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