通過搭配使用光學顯微鏡與精密可動工作臺，實施目標物測量的裝置。

    和投影儀一樣，采用遠心光學系統，可實現準確測量。可進行非接觸測量，不必擔心目標物受損。

    根據用途，可分為工具顯微鏡、工廠用工具顯微鏡、工具顯微鏡等。不同類型的特點如下所示。

    工具顯微鏡…測量顯微鏡的鼻祖，原本用于工具的測量。

    工廠用工具顯微鏡…適用于測量小型加工部件等。

    工具顯微鏡…支持的用途比工具顯微鏡更多，還能測量大型目標物。

    工具顯微鏡的主要使用方法

    將目標物裝設到載物臺上。

    和普通的光學顯微鏡一樣，用透過光或反射光照射目標物，將刻度基線對準陰影邊界，實施測量。根據目標物區分使用照明（透過照明、同軸落射照明等）。

    測量值可輸出為各類CAD數據。

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