不同的真空系統要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空機組來完成，即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。

　　高真空一側的真空泵能達到系統要求的真空度，而低真空一側的真空泵是直排大氣的。顯然簡單的真空機組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統一般需要三級機組，中真空一般需要二級機組。

　　選用原則

　?。?）真空泵的結構：抽腐蝕性氣體，必須要求真空泵用耐腐蝕材料或襯耐腐蝕材料制成。抽與油起作用的氣體，不能選擇使用潤滑油的真空泵。

　?。?）滿足工藝要求：如減壓塔頂不凝氣體的量很大，必須選用蒸汽噴射真空泵，因為它具有真空度高，結構簡單，操作方便等特點，在減壓塔內造成很高真空，有利于在減壓下分餾，保證了產品質量。

　?。?）足夠的抽氣速率：在允許的時間內，能把需要抽走的氣體抽出，才能保證生產的正常進行。

　?。?）工作時間：連續工作時間能保證一個工藝循環的基本要求，不能因為連續工作時間短而影響生產。

　　真空泵的主要參數

　?。?）抽氣速率：真空泵的抽氣速率也叫生產能力，在一定溫度下，真空泵在單位時間內能從設備內抽走氣體的體積，單位m3/s或m3/h表示。

　?。?）殘余壓力：也叫極限真空即真空泵能達到穩定狀態下的zui低壓力，單位“Torr”或%表示。1Torr=1/760atm=133.3Pa。

　?。?）抽氣量：在一定溫度下，真空泵在單位時間內能從設備內抽走指定氣體量叫抽氣量，單位m3/h。

　　（4）起動壓力：真空泵開始工作時的壓力。

　　真空泵的特點

　　1、真空度：干式螺桿真空泵、爪式真空泵、無油渦旋真空泵極限真空度都很高，極限真空均可達到1-2Pa，珂勒曦的干式螺桿真空泵極限真空已突破0.1Pa；無油往復真空泵為粗真空設備，極限真空度低，需要搭配羅茨等其他真空泵提高極限真空。

　　2、抽氣量：無油渦旋真空泵由于內部結構問題，抽氣量較小，只適用于小抽氣量的工藝中；干式螺桿真空泵型號齊全，可適用大抽氣量工藝中，配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需求。

　　3、穩定性：干式螺桿真空泵性能穩定，噪音低，故障率低；無油往復真空泵結構簡單，噪音較高，需要經常更換滑片。爪式真空泵由于裝配復雜，轉子與軸不為一體，出現故障需全部重新拆解裝配，反復裝配從而降低產品性能及穩定性。

　　4、特殊工況處理：由于化工、制藥、半導體行業等相關工藝氣中會不同程度含有易燃、易爆以及腐蝕性氣體，所以干式真空泵需要特殊處理。干式螺桿真空泵內部結構簡單，兩根轉子、泵腔均可做防腐處理，常見的有鎳磷涂層和特氟龍涂層，珂勒曦干式螺桿真空泵采用則是特殊的多層鍍鎳和納米材料鍍層，有效防止鹽酸等高腐蝕性介質對設備的侵蝕。爪式真空泵很難做防腐處理，各級隔板之間幾乎無法做表面處理，轉子表面的防腐涂層也容易在裝配時損傷。無油渦旋真空泵只適合抽潔凈的氣體，不能抽取易燃、易爆及具有腐蝕性的氣體。

　　在某些中真空應用中，需要進入10-1Pa范圍，這對羅茨泵的二級機組往往難于實現，而使用二級羅茨泵串接的三級機組可使真空度提高一個數量級而進入10-1Pa，所以中真空應用也常用三級機組。由于分子增壓泵在10-1Pa可以滿抽速，所以亦可以在三級中真空機組中取代兩級羅茨泵。

　　一般地講，長時間工作在中真空的低端壓力范圍的羅茨泵，分子增壓泵可以完全取代。而長時間工作在中真空高端壓力范圍的羅茨泵相對而言應該較少，因為這一壓力范圍前級泵往往還具有強勁的抽速。

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