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      產(chǎn)品分類

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      類型分類:
      科普知識(shí)
      數(shù)據(jù)分類:
      激光干涉儀

      激光干涉儀的技術(shù)參數(shù)

      發(fā)布日期:2022-10-03 點(diǎn)擊率:122

          激光干涉儀,以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。
          5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型:
          1. 線性:0.5ppm .
          2. 測(cè)量范圍:40米(1D可選80米)
          3. 線性分辨力:0.001um.
          4. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
          5. 范圍:800角秒
          6. 滾動(dòng)角精度:1.0角秒
          7. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
          8. 直線度范圍:500um
          9. 垂直度精度:1角秒
          10. 溫度精度:0.2攝氏度
          11.濕度精度:5%
          12.壓力精度:1mmHg

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