在某種程度上，MEMS可以看作CMOS集成電路的擴展。如果將CMOS比喻為人的大腦和神經網絡，那么MEMS就是大腦智慧的“手臂”，為這信息系統提供了獲取信號的微傳感器和執行命令的微執行器。
    人們早期認為，將MEMS與CMOS模塊集成到單芯片上的任務非常困難。因為在制程上MEMS與CMOS存在很大差異：1）MEMS包含一些可動的機械構件，需要在一些如熱驅動、靜電驅動、磁驅動下執行動作，不能采用CMOS傳統方法進行封裝。2）多功能MEMS應用與傳統的CMOS產業制造不同，如包含更多步驟、背面工藝、特殊金屬和非常奇特的材料以及晶圓鍵合等等。3）基底材料有所不同。在生物和醫療領域，很多地方都選用玻璃和塑料而非硅片作為MEMS基底，甚至出于降低成本原因使用塑料制作一次性醫療器械。4）設計思路不同。CMOS電路是從上往下設計，適合于復雜微系統設計，需要良好的預定義工藝模塊；而MEMS多數從下往上設計，需要建立特殊工藝文件。5）CMOS與MEMS產品與技術生命周期不相同。CMOS產品遵循“摩爾定律”，產品生命周期不到半年就會被淘汰；而結構設計合理的MEMS產品生命周期可延長到2年。因為這些差異，人們在早期并沒有努力將CMOS與MEMS結合起來。
    在單芯片上集成MEMS與CMOS電路的嘗試是由分離器件向集成電路規模化轉變的行業趨勢帶動的。早期器件采用將裸片堆疊的方式，將復雜功能分散于處理器與傳感器多塊芯片上，容易導致芯片尺寸大小、可制造性和一致性等方面的缺陷。因此，人們迫切希望將MEMS技術與CMOS工藝結合，利用CMOS標準化工藝，實現傳感器、執行器、信號采集、數據處理、控制電路一體化混合集成在一塊三維硅片上，實現多種功能的智能化集成。
    CMOS-MEMS集成單芯片是單一微觀器件制造領域的里程碑，與傳統多芯片MEMS模塊相比有以下優勢：1）利用了CMOS工藝的標準化規模效應，大幅降低制造設備和材料成本。2）高度集成化、系列化的嵌入式MEMS芯片將大大縮短MEMS產品的開發周期與制造成本。3）采用CMOS設計和材料會使MEMS產品具有更優異的性能和可靠性。出于對高靈活性、高性能的解決方案的追求與降低成本的壓力。許多著名的CMOS半導體公司，包括STM、Infineon、Motorola（Freesacle）、Fairchild、 Dalsa Semiconductor、Semefab、Elmos與Xfab等，都相繼投入MEMS產業，生產CMOS-MEMS集成芯片。
    但生產MEMS與CMOS集成芯片也還存在以下問題：1）與IC半導體芯片相比，MEMS器件需要用到更為復雜的材料與分層；2）構建MEMS結構所需要的專門工藝不容易集成到半導體工廠。