低精度MEMS慣性傳感器作為消費電子類產品主要用在手機、游戲機、音樂播放器、無線鼠標、數碼相機、PD、硬盤保護器、智能玩具、計步器、防盜系統、GPS導航等便攜式。由于具有加速度測量、傾斜測量、振動測量甚至轉動測量等基本測量功能，有待挖掘的消費電子應用會不斷出現。

　　中級MEMS慣性傳感器作為工業級及汽車級產品，則主要用于汽車電子穩定系統（ESP或ESC）GPS輔助導航系統，汽車安全氣囊、車輛姿態測量、精密農業、工業自動化、大型醫療設備、機器人、儀器儀表、工程機械等。

　　高精度的MEMS慣性傳感器作為軍用級和宇航級產品，主要要求高精度、全溫區、抗沖擊等指數。主要用于通訊衛星無線、導彈導引頭、光學瞄準系統等穩定性應用；飛機/導彈飛行控制、姿態控制、偏航阻尼等控制應用、以及中程導彈制導、慣性GPS導航等制導應用、遠程飛行器船舶儀器、戰場機器人等。

　　用作消費電子類的MEMS慣性傳感器，主要要求是單價低、尺寸小、溫度范圍窄、因而精度要求低，甚至是功能性產品。加速度傳感器重量輕、功耗小、一般測量范圍1～10g～50g，分辨率2mg～10mg，陀螺一般量程在±300°/s，零偏在500°/h～1000°/h，因此有些公司的產品不給出零偏指標或給出0.1°/s～0.5°/s。

　　工業級的慣性傳感器大多以模塊形式出現，對于應用于工業級芯片級產品，還必須進行處理，包括軟件和硬件電路，以及對不同工業環境的適應性，大多數要求價格適中，精度一定優于消費類應用加速度傳感器的量程選擇比較寬1～500g，分辨率1mg～3mg，陀螺量程大多250°/s以內，零偏在50°/h～200°/h，汽車級可作為一個工業應用的特殊產品，對其可靠性要求高，同時由于需求數量大，和一般工業要求不一樣的是單價要低。

　　軍工級或宇航級的MEMS慣性傳感器精度要求高、工作溫度范圍寬（-45°～125°），某些兵器產品要求抗沖擊能力強（10000g～20000g）尺寸要比光纖和機械類產品要小。加速度傳感器量程范圍寬1g～5000g，分辨率要0.1～1mg，甚至更高。陀螺量程要求范圍寬20°/s～1000°/s,頻響高，50Hz～1000Hz，零偏穩定性為1°/h～50°/h。