集成化智能傳感器概念從十年前首次提出到現在已經得到很好的發展，體積小、成本低、功耗小、速度快、可靠性高、精度高以及功能強大等優點是集成化智能傳感器能夠發展的原因。集成化智能傳感器的優點使它成為目前傳感器研究的熱點和傳感器發展的主要方向,必將主宰下個世紀的傳感器市場。

　　目前集成化智能傳感器技術發展非常迅速，已經有集成化智能壓力傳感器，集成化智能溫度傳感器等面市，然而由于我國國有資金和技術等方面的不足,在此方面的研究上同國外的差距還很大。如果我國把集成智能傳感器的研制和生產作為半導體工藝的主要發展方向之一，就可以在現有的集成電路工藝和微機械加工的優勢的基礎上另辟蹊徑，使集成智能傳感器的研制與生產具有一定功能模塊化能力，為傳感器產業的集成化智能化發展積累新的技術經驗，并拓展應用領域的廣泛性，使其成為未來傳感器發展的主流。電子自動化產業的迅速發展與進步促使傳感器技術、特別是集成智能傳感器技術日趨活躍起來，近年來隨著半導體技術的迅猛發展，國外一些著名的公司和高等院校正在大力開展有關集成智能傳感器的研制，國內一些著名的高校和研究所也積極跟進，集成化智能傳感器技術取得了令人矚目的發展。

　　大規模集成電路技術和微機械加工技術的迅猛發展，為傳感器向集成化、智能化方向發展奠定了基礎，集成智能傳感器在應用領域成為傳感器發展的新趨勢。集成智能傳感器采用微機械加工技術和大規模集成電路工藝技術，利用硅作為基本材料來制作敏感元件、信號調制電路，以及微處理器單元，并把它們集成在一塊芯片上。這樣，使智能傳感器達到了微型化和結構一體化，從而提高了精度和穩定性。