濕度傳感技術是至關重要的一個廣泛的應用程序,包括暖通空調和制冷;醫療設備,如CPAP機和呼吸機;資產跟蹤和存儲設備的食品和制藥行業;工業控制系統;氣象儀器;汽車氣候控制和除霧;和移動計算設備。盡管行業的數量和應用程序需要它,相對濕度(RH)測量中更艱難的技術挑戰在環境遙感。

　　準確的濕度測量是一個重要的一部分控制濕度,以防損壞,不適,或來探測這個事件可能造成產品損壞在存儲或過境。對于廣泛使用,RH傳感必須可以在組件形式,使容易,具有成本效益的整合與電子控制。

　　技術測量濕度

　　濕度可以被量化在許多方面,但最重要的測量對維持大氣質量相對濕度(RH)。這是比實際的水蒸氣存在于空氣的水量存在于飽和空氣,它不能吸收更多的水分。絕對濕度被定義為大眾的水蒸氣溶解在一個潮濕的空氣的總量在給定的溫度和壓力。

　　電子濕度傳感技術

　　電子濕度傳感器克服許多大小和成本問題,瘟疫老技術。最普遍采用的技術要么靠在一個變化的阻力或電容吸附材料。一個電容傳感器由兩個電極,一個介電材料。通常,隨著空氣中水汽含量增加,傳感器的介電常數的增加,改變測量電容對應濕度水平。一個電阻傳感器由兩個電極,一個導電層。在這種情況下,在濕度變化導致的導電性變化遙感層。

　　新技術來制造薄膜使這些類型的相對濕度傳感器準確、穩定、容易大量生產。選擇吸濕材料保證快速響應時間與小滯后。例如,一個聚酰亞胺薄膜,可以制造于不同厚度的<5μm變化的反應,可以在<10年代濕度,同時提供優良的穩定性。一個電子RH的準確性傳感器受限于它的漂移隨著時間的推移,通常很大的變化引起的溫度和濕度或污染物的存在。

　　提高測量的準確性RH,它也有助于測量溫度提供溫度補償的RH測量設備如有必要。確定露點或絕對濕度,空氣溫度也是必需的。例如,一個1°C誤差測量溫度會產生大約1°C誤差在露點計算。最好的準確性、濕度和溫度的測量應該被盡可能接近對方,理想情況下共存于同一芯片。這種接近很難實現與許多傳統電子傳感器的設計。

　　當今的許多電子傳感器設計使用離散電阻和電容式傳感器,混合動力車,和多芯片模塊(反水雷艦),如圖3所示。這些遺留方法遭受高的BOM成本和組件計數,大腳印,需要勞動密集型的客戶校準。另一個問題是離散傳感器解決方案常常不符合標準的表面組裝技術(SMT)組裝流動。