電容式濕度傳感器直接感應相對濕度的變化，將濕度的變化轉換為電容的變化，再將電容量的變化經(jīng)信號調(diào)理電路轉換為標準的電信號，提供給相關控制或監(jiān)測電路。電容式濕度傳感器的特點有：響應快，線性度高，遲滯低以及長期穩(wěn)定性好等，所以應用也越來越廣泛。

　　電容式相對濕度傳感器通常由熱固聚合物，三層電容結構，鉑電極，以及集成信號調(diào)理電路（高溫應用除外）等組成。如下圖所示，其中熱固聚合物包裹在傳感器的最外層，主要是起保護作用，防止臟物、灰塵、油汅等覆蓋或進入到傳感器中，腐蝕鉑電極，影響傳感器的響應速度等。而外層的鉑電極上充滿了小孔，確保帶水氣的空氣快速、順利地進入到傳感器內(nèi)部，加快傳感器的響應速度，減小測量的遲滯。

　　在實際應用中，基于水汽親和力的電容式、電阻式或導電薄膜式的濕度傳感器既對濕度敏感，同時也對溫度敏感，所以為達到高精度的測量或寬溫度范圍工作，溫度補償是必不可少的。要實現(xiàn)溫度補償，溫度的測量必須盡可能地靠近濕度傳感器的測量環(huán)境，特別是利用濕度與溫度來計算露點時，這一點尤其重要。工業(yè)級的濕度和露點測量設備通常會在傳感器襯底的反面集成一個1000歐姆的鉑RTD溫度傳感器，用于溫度補償。

　　當傳感器感應區(qū)域的表面溫度低于環(huán)境露點溫度時，這時傳感器感應區(qū)域表面就容易結露，哪怕感應區(qū)域表面溫度或傳感器內(nèi)局部溫度只是短暫地低于環(huán)境露點溫度，傳感器內(nèi)部或表面都有可能結露，特別是當工作環(huán)境的濕度高于95%時，溫度的細微波動，都有可能造成結露。

　　 為避免高濕與結露環(huán)境對濕度傳感器的影響，通常有一些措施，如保持良好的空氣流通減少溫度的波動；給濕度傳感器加燒結的不銹鋼過濾網(wǎng)，使用防水涂層進一步抑制結露的影響。