電容式濕度傳感器直接感應相對濕度的變化，將濕度的變化轉換為電容的變化，再將電容量的變化經信號調理電路轉換為標準的電信號，提供給相關控制或監測電路。電容式濕度傳感器的特點有：響應快，線性度高，遲滯低以及長期穩定性好等，所以應用也越來越廣泛。

　　電容式相對濕度傳感器通常由熱固聚合物，三層電容結構，鉑電極，以及集成信號調理電路（高溫應用除外）等組成。如下圖所示，其中熱固聚合物包裹在傳感器的最外層，主要是起保護作用，防止臟物、灰塵、油汅等覆蓋或進入到傳感器中，腐蝕鉑電極，影響傳感器的響應速度等。而外層的鉑電極上充滿了小孔，確保帶水氣的空氣快速、順利地進入到傳感器內部，加快傳感器的響應速度，減小測量的遲滯。

　　在實際應用中，基于水汽親和力的電容式、電阻式或導電薄膜式的濕度傳感器既對濕度敏感，同時也對溫度敏感，所以為達到高精度的測量或寬溫度范圍工作，溫度補償是必不可少的。要實現溫度補償，溫度的測量必須盡可能地靠近濕度傳感器的測量環境，特別是利用濕度與溫度來計算露點時，這一點尤其重要。工業級的濕度和露點測量設備通常會在傳感器襯底的反面集成一個1000歐姆的鉑RTD溫度傳感器，用于溫度補償。

　　當傳感器感應區域的表面溫度低于環境露點溫度時，這時傳感器感應區域表面就容易結露，哪怕感應區域表面溫度或傳感器內局部溫度只是短暫地低于環境露點溫度，傳感器內部或表面都有可能結露，特別是當工作環境的濕度高于95%時，溫度的細微波動，都有可能造成結露。

　　 為避免高濕與結露環境對濕度傳感器的影響，通常有一些措施，如保持良好的空氣流通減少溫度的波動；給濕度傳感器加燒結的不銹鋼過濾網，使用防水涂層進一步抑制結露的影響。