儀器在使用的過程中都是需要定時的清洗的，氧傳感器也是不例外的。氧傳感器在使用的過程中是會產生一定的污垢的，氧傳感器會由于這些污垢導致無電壓輸出、電壓值不變或者是上升、電壓值變化緩慢等多種的問題，這就表明氧傳感器需要清洗了。 

　　氧傳感器的清洗方法如下：

　　拆下氧傳感器，用5-10%的三氯化鐵溶液加過量的鹽酸，這個比例要視傳感器頭子表面的情況而定。將氧傳感器放到溶液里浸泡，10-15分鐘后取出，用水沖凈，不僅周圍的四個孔要通暢，從底部觀察，洗凈后里面的載體呈白色。

　　如果清洗得不理想，繼續此項的工作，直到能看到白色的載體為止。

　　用水沖凈后，裝上傳感器，重復上述的第四步測量工作。一般說來，只要不是副廠的傳感器，只要內部的瓷體沒有炸裂，加熱電阻沒有開路，經過上述清洗過的氧傳感器都可以恢復正常工作。