超高真空指的是真空度小于10^-5Pa的真空。真空室一般由金屬材料熔煉或鑄造而成，里面溶入了空氣中的氫、氧、氮和碳的氧化物，而且殼體表面還會吸附水蒸氣等大量氣體。這些因素都會導(dǎo)致真空環(huán)境下的氣體虛漏。

    超高真空材料，應(yīng)滿足下列要求：

    1 在烘烤溫度下，材料能保持機(jī)械性能，殼體材料能承受外部大氣壓力

    2 材料在烘烤溫度下蒸汽壓要低

    3 材料的滲透氣體量不能超過允許值

    4 材料加熱時不易變形

    5 材料表面容易拋光

    適于超高真空的通用材料有：

    不銹鋼，常用于殼體、管道、法蘭以及各種真空元件。

    玻璃，用于封接真空電極引入線、制作規(guī)管管殼或觀察窗等。

    陶瓷，用于真空電極的絕緣子。

    可伐，用于制作與玻璃或陶瓷封接件。

    金銀銅鋁，用于制作密封圈。

    氟橡膠，用于制作密封圈。

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