設計真空系統主要決定系統如何配置，選擇系統的基體結構，選配真空機組、管道、閥門等元件，真空熱處理爐的真空系統設計主要滿足以下要求。

    （1）根據真空設備產生的氣體量、工作壓力、極限真空度和抽氣時間等，選配主泵及真空系統。使真空爐迅速抽至要求的真空度，并保證在真空熱處理過程中及時排出爐內放出的氣體和真空泄漏滲入氣體，以保持爐內的工作真空度。

    （2）計算真空設備的抽氣時間，或計算在給定抽氣時間內爐內的壓力。

    （3）真空系統結構緊湊，占地面積小，操作維修方便。

    電爐真空系統主要參數有工作真空度，極限真空度、抽氣時間、漏氣率及抽氣速率等。

    （1）工作真空度：真空電爐在工作期間需要保持的真空度，稱為工作真空度，其數值按熱處理工藝要求而定，在滿足工藝要求的前提下，盡量選擇較低的工作真空度。這樣可簡化真空系統，降低爐子造價。電爐的工作真空度總是低于爐子極限真空度，從經濟方面考慮，最好在主泵的最大抽速附近選擇工作真空度。一般工作真空度低于極限真空度0.5-1個數量級。

    （2）極限真空度：真空爐（空爐）所能達到的最高真空度稱為極限真空度。它是考核爐子各部件的加工、裝配好壞、真空機組抽氣能力與極限真空、爐子放氣、漏氣和真空衛生情況的重要指標，一般情況下，爐子的極限真空度應低于主泵的1個數量級左右。

    （3）抽氣時間：抽氣時間是爐子從某一壓力開始抽到要求壓力所需的時間，在低真空、中真空區域的前段，抽氣時間可以簡化計算，近似機械泵預抽時間，其總抽氣時間包括機械泵的預抽時間再加上主泵（如羅茨泵或油擴散泵）從連接后到抽至某一要求壓力的時間，油擴散泵與油增壓泵的預熱時間不包括在抽氣時間內。一般爐子的預抽時間小于10min為宜，目前國內外大量真空熱處理爐的抽氣時間，一般都小于30min。

    （4）漏氣率：漏氣率是真空爐制造質量中密封性能的檢驗指標，指處于高壓或高濃度下的氣體在單位時間內通過漏孔流入低壓爐內的氣體量，由于漏氣率參數有一個體積單位，用起來不太方便，因此推薦用壓升率作為檢驗真空爐漏氣的指標，美國軍標規定，真空熱處理爐的壓升率不得大于5umHg/h（6.7x10^-1Pa/h）。

    （5）抽氣速率：電爐系統單位時間內所抽出的氣體體積，稱為抽氣速率。為了提高爐子抽速，除了選擇大些的真空泵外，盡可能增大管道流導也有同樣效果，一般對于高真空管道造成泵抽速損失不應超過40%~60%；對于低真空管道其損失允許5%-10%.

(慧樸科技,huiputech)