真空法蘭連接屬于非永久密封連接，其特點(diǎn)是經(jīng)過(guò)多次拆裝仍能保持密封性能，而且可以更換已經(jīng)老化或損壞的密封器件。真空系統(tǒng)中常用的法蘭有橡膠圈密封法蘭和金屬墊圈密封法蘭。

    1 KF（NW）法蘭

    小口徑管路用橡膠圈密封真空法蘭，被稱為KF（或NW）法蘭，廣泛用于低、中和高真空系統(tǒng)中。其特點(diǎn)是可多次重復(fù)使用、操作簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠。但是KF法蘭有兩個(gè)大的問(wèn)題點(diǎn)：一個(gè)是在設(shè)備烘烤時(shí)耐熱程度有限，另一個(gè)是氫氣、氦氣的透氣問(wèn)題。

    使用KF法蘭時(shí)，兩個(gè)KF法蘭中間安裝有外套O型橡膠圈的中心支架，外側(cè)通過(guò)卡箍可簡(jiǎn)單實(shí)現(xiàn)快速的安裝和拆卸。使用氟橡膠圈的時(shí)候，烘烤溫度一般可達(dá)150℃。

    2 ISO法蘭是口徑范圍大的O型橡膠圈密封真空法蘭。

    3 CF法蘭的內(nèi)側(cè)有凸起的鋒利刀口，通過(guò)擠壓無(wú)氧銅墊圈（或其他軟金屬）使其變形而達(dá)到密封真空的目的，是全金屬材料的密封方式，被廣泛應(yīng)用于超高真空環(huán)境中。CF法蘭也常用ICF法蘭來(lái)表示，CF后面的數(shù)字是標(biāo)準(zhǔn)的導(dǎo)管內(nèi)徑，而ICF后面的數(shù)字是法蘭的外徑。

    CF法蘭分為固定型和松套型兩種。固定型法蘭為一體化結(jié)構(gòu)。松套型法蘭由擠壓銅墊圈的刀口部分和通過(guò)螺栓的固定部分構(gòu)成。法蘭上可開通孔或螺紋孔。開有通孔的法蘭要通過(guò)螺栓和螺母固定，開有螺紋孔的法蘭可直接使用螺栓固定。法蘭的材質(zhì)主要為SUS304或SUS304L，因?yàn)镾US304放出氣體少，加工和焊接比較容易。

    CF法蘭的特點(diǎn)是不分雌雄，包括無(wú)氧銅墊圈在內(nèi)全部由金屬構(gòu)成，因此可以承受高溫（250℃以上）烘烤。其缺點(diǎn)是價(jià)格高，無(wú)氧銅墊圈不能多次重復(fù)使用。

    CF法蘭的安裝要求較高。因?yàn)闊o(wú)氧銅墊圈被擠壓后會(huì)變形，所以用均等力量扭緊螺栓非常重要。如果螺栓用力不均勻，會(huì)使對(duì)角位置的法蘭翹起，以至于漏氣。扭緊螺栓的力矩大約如下：M4螺栓20kgf*cm，M6螺栓70kgf*cm，M8螺栓100kgf*cm。

    CF法蘭使用時(shí)有幾個(gè)注意點(diǎn)：螺栓一定要涂抹MoS2，以免螺栓和螺母咬合卡死，法蘭外周要對(duì)齊，法蘭面要保持一點(diǎn)距離，為烘烤后繼續(xù)上緊螺栓留出空間。

    CF法蘭中，刀口要切入金屬密封圈來(lái)實(shí)現(xiàn)真空密封。長(zhǎng)期使用，刀口會(huì)逐漸變鈍。另外，受硬器碰撞后刀口容易受傷。這時(shí)的補(bǔ)救措施之一，是使用IPD金屬密封圈。IPD金屬密封圈不依靠法蘭的刀口，而依靠刀口外周的斜面來(lái)密封。

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