真空材料的出氣、升華、蒸發(fā)、分解、滲透影響真空系統(tǒng)的性能：

    1）一般情況下，材料都處于大氣中，都會(huì)吸附、溶解一些氣體并與大氣條件處于平衡或穩(wěn)定狀態(tài)，但當(dāng)材料放置于真空中時(shí)，這種平衡或穩(wěn)定被破壞，就會(huì)因?yàn)榻馕?、解溶，釋放氣體。

    2）金屬材料在冶煉過程中，置于真空中會(huì)釋放出來。

    3）一些聚合物材料，由于加工過程中加有各種添加劑(增塑劑、抗氧化劑、引發(fā)劑等)，以及殘余的小分子量物質(zhì)，當(dāng)材料放置在真空中，這些添加劑和小分子量物質(zhì)會(huì)通過擴(kuò)散、解吸、逃逸進(jìn)入真空室。

    4）一些化合物，在大氣條件下相對(duì)穩(wěn)定，但置于真空中，會(huì)發(fā)生分解、釋放氣體：一些有機(jī)物還可能發(fā)生退化、分解，形成小分子量的生成物，這些生成物也能進(jìn)入真空室。

    5）一些固體或液體,置于真空中，可以通過升華、蒸發(fā)，釋放氣體。

    6）真空系統(tǒng)的殼體(容器和管道的壁)材料，一面是大氣，另一面暴露于真空中，除了必須考慮結(jié)構(gòu)強(qiáng)度外，由于兩側(cè)的氣體濃度差，大氣中的氣體會(huì)通過滲透作用進(jìn)入真空室。

    7）經(jīng)常使用吸氣劑或吸附劑，溫度對(duì)氣體的吸氣容量、活化方式、活化溫度是影響真空性能的關(guān)鍵因素。

    8）泵工作物質(zhì)的性能影響系統(tǒng)的性能：蒸氣噴射泵、擴(kuò)散泵依靠工作液蒸氣進(jìn)行噴射或擴(kuò)散進(jìn)行抽氣，因此要求在泵的鍋爐工作溫度下有足夠的蒸氣壓，而在常溫下，泵工作液的蒸氣會(huì)彌漫整個(gè)真空系統(tǒng)內(nèi)，成為極限真空的限制因素，因而又希望泵工作液在常溫下具有低的飽和蒸氣壓。所以，對(duì)于這一類型的泵，泵工作液的熱穩(wěn)定性、抗氧化性以及不同溫度的蒸氣壓就成為泵性能的主要決定因素。

    9）氣壓降低，一些性能凸現(xiàn)，影響系統(tǒng)的性能：在大氣條件下，由于氣壓較高，一些現(xiàn)象被掩蓋或被忽略，但在真空條件下，這些現(xiàn)象即變得重要，甚至起主導(dǎo)作用。例如水在常溫下(290K)，飽和蒸氣壓為1937Pa，與一個(gè)大氣壓101325Pa比較，相差約兩個(gè)數(shù)量級(jí)，幾乎可以忽略；但當(dāng)氣壓降至1Pa量級(jí)(低真空區(qū)域)時(shí)，水的蒸氣壓已經(jīng)非常重要了.

    10）正是因?yàn)檫@些現(xiàn)象，材料的真空性能(真空出氣率、蒸氣壓、蒸發(fā)速率、氣體的溶解度，擴(kuò)散率、化學(xué)穩(wěn)定性、泵工作物質(zhì)的性能等)就成為真空技術(shù)用材關(guān)注的焦點(diǎn)，真空材料也就成為材料分類中的重要一支。

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