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發(fā)布日期:2022-11-05 點(diǎn)擊率:44
1)抽氣情況不良。即抽氣系統(tǒng)本身存在問(wèn)題。比如:擴(kuò)散泵工作不正常,這可能是由于泵油過(guò)多或過(guò)少,泵加熱功率不合適,泵油氧化或太臟,泵冷卻效果不良,機(jī)械泵油太臟或含水量高,內(nèi)部零件磨損或劃傷,反擴(kuò)散增大等原因造成。
2)放氣。真空系統(tǒng)或容器內(nèi)部存在氣體或蒸氣源。主要是真空清潔處理(清洗、干燥)不良,材料選擇不當(dāng)或設(shè)計(jì)有死空間等原因引起。
3)漏氣。主要由于焊接加工或安裝不良,低溫下密封圈失去彈性或壓縮量不足,不清潔等原因造成。
(慧樸科技,huiputech)
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