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發(fā)布日期:2022-11-05 點(diǎn)擊率:28
在真空室中有許多工藝需要向該室引入電極。通常做成電極導(dǎo)入部件(包括電極結(jié)構(gòu)、引入導(dǎo)線),利用真空靜密封與真空室連接。這些導(dǎo)線與導(dǎo)線之間、導(dǎo)線與真空室壁之間應(yīng)當(dāng)滿足電絕緣、真空密封和承受一定的電流負(fù)荷。
電極引入線、電極密封材料的選擇取決于工作電壓、電流、頻率、溫度等,通常電極引入線分為永久密封電極引入線和可拆密封電極引入線。前者用于高溫可烘烤與各種真空測(cè)量規(guī)管中,后者用于一般高真空抽氣系統(tǒng)中。
永久密封電極引入線采用玻璃金屬封接或陶瓷金屬封接,根據(jù)外形分為桿密封、芯柱密封、帶狀密封、盤形密封和杯形密封等。
強(qiáng)電流或高壓引入線通常將兩種密封形式結(jié)合使用。引入線和玻璃(或陶瓷)采用永久封接,封好的電極引線和電空室(管道)的密封采用可拆(或半可拆封蠟)密封。
(慧樸科技,huiputech)
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