真空裝置的極限壓力(極限真空)是該裝置真空室的主要參數。由于真空裝置的種類繁多，故對極限壓力的叫法亦有不同，例如：真空退火爐稱極限壓力為“冷態真空度”；真空檢漏儀稱“本底真空度”；有的空間模擬設備稱“空載極限真空度”等。正因為真空科技工作者及非真空企業或公司對極限壓力的含義了解得不夠全面，因而在對真空裝置研制過程中或使用過程中帶來不少麻煩。甚至有的企業因不懂真空裝置抽氣系統對極限壓力的概念造成選購的真空裝置不能使用。

    何謂極限壓力？從真空系統及有關術語中可知極限壓力的定義是：泵在工作時，空載干燥的真空容器逐漸接近穩定的最低壓力，進而可得：泵指的是真空系統的主泵，空載干燥的真空容器(即真空室)內不放有工作狀態的元器件，而且真空容器內的環境是干燥的空氣或氣體。它是在主泵經過相當時間的抽氣而使真空容器逐漸接近的穩定的最低壓力值。顯而易見，真空系統所達到的極限壓力是不受時間限制的。真空裝置的極限壓力越低，標志著該裝置的真空系統設計是合理的，主泵的選擇比較理想，是衡量真空裝置技術水平是否先進的條件之一。在真空科技界，在某些情況下殘余壓力等于極根壓力。而殘余壓力則是經過一定時間的抽氣之后或真空過程結束后還有在于真空容器中的氣體或氣體混合物的氣壓。這是真空科學工作者在全面理解極限壓力概念和殘余壓力時應注意的問題。

    真空室的極限壓力通常總是低于真空抽氣機組的極限壓力。在抽氣口附近泵有效抽速一定的條件下，真空室的極限壓力正比于真空室的漏氣和出氣。

    如果真空室采用金屬焊接結構形成，根據我國現有的氬弧焊工藝水平，單位長度焊縫漏率，一般取焊縫漏率為1.3×10^-4Pa·L/(s·cm)，此外，還應該考慮真空室各密封圈滲漏所引起的總漏率。

    出氣主要指真空室材料表面的出氣量，由真空室內表面積和不同材料在常溫下的出氣速率Pa*L/（s*cm）來決定。

    在設計真空系統時，漏氣量主要由真空室的極限真空和工作壓力來確定。一般選取低于工作狀態下氣體負荷（工藝生產中放出的氣體量）的十分之一。

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