(1)真空室內的大氣

    (2)真空室內的表面放氣，也稱為表面解析氣體，該放氣量與材料種類、溫度、壓強和抽氣時間等因素有關，可用實驗得到的材料放氣率數據進行近似計算。

    (3)漏氣，主要是通過真空室的動密封和靜密封處泄漏的氣體量。漏氣率一般用壓力增長率即升壓率表示。

    (4)耐火保溫材料的放氣，根據保溫材料的種類和用量，可用實驗數據計算其放氣量。

    (5)工藝過程中被處理材料的放氣，該放氣量往往是真空系統排氣的主要氣體負荷，因此應當了解工藝過程中產生氣體的特征。工藝過程中的放氣主要由如下過程產生：

    ①溶解在金屬中的氣體直接排出(如氮和氫從熔融金屬中排出，氫從固體鈦中排出)，原因是室內溫度升高和壓力降低，氣體在金屬中溶解度下降，所放出的氣體與生產率和時間有關。釋放速率受金屬熔煉和處理方法的影響。

    ②化學反應生成氣體化合物排出。如碳和溶解的氧生成氧化碳氣體，或者碳還原金屬氧化物生成氧化碳氣體排出。這樣產生的氣體與壓強、溫度、時間和生產率都有關系。

    ③化合物分解產生氣體排出。如氫化物、氮化物、氧化物等分解產生氣體氫、氮和氧。分解出的氣體與溫度、壓力、時間和生產率有關系。

    此外，為了控制金屬熔煉工藝而引人的氣體也需要泵排出。如引入氦、氬或其它氣體作為熔融金屬的攪拌手段等。

    工藝過程中材料放氣的計算比較復雜，目前還不能精確地計算，只能根據實驗值近似計算。

（慧樸科技，huiputech）