在真空系統裝配中，柔性真空管路接頭用來適應熱膨脹或位置調整(零件之間需要有相對移動)，或者需要隔離振動以及強度弱的零件免受應力損傷等。

    超高真空系統的前級低真空，可采用真空橡膠管、塑料管等柔形管路，管路壁厚要能承受大氣壓力，薄壁管要在管內設加強件(如鋼絲彈簧)。這種軟管常用在前級粗抽系統，用以隔離機械真空泵的振動。

    超高真空系統的活動部件，如閥門的移動機構，通常使用銅、不銹鋼、鎳鉻鐵合金等材料制成的金屬波紋管。典型的軋制或液壓成型的金屬波紋管如圖所示。

    A型、B型、C型為兩端開口的波紋管；AD型和BD型為一端封閉一端開口的波紋管。這種類型的金屬波紋管，其單位長度的波節和每個波節的位移量較少，每根波紋管的長度也受到加工設備的限制。

    另一類的波紋管是焊接波紋管，焊接波紋管單位長度的波節和每個波節的位移量較大，但造價較高，內壁不容易清洗，只能靠烘烤清洗。

    金屬波紋管的壁很薄，焊接部位需將厚法蘭的焊接處加工成與波紋管相同的薄壁，否則容易焊穿薄壁波紋管。焊縫盡可能處在真空內側，避免形成不利于抽真空的“死空間”。為了增加焊縫強度，外側可以采用斷續焊接進行定位和加固。

    波紋管用于真空管路時大氣壓可使波紋管縮短，這就要求連接系統的兩端有足夠的機械支撐強度，或用支撐桿加以固定，限制大氣壓力壓縮波紋管的伸縮量。

    波紋管是真空系統中最容易損壞的元件，注意不能讓它承受過大的應力，否則會影響它的使用壽命。波紋管不宜使用強腐蝕劑進行清洗，并且容易碰傷，應注意保護。

（慧樸科技，huiputech）