除了個別情況外，材料放氣是高真空和超高真空系統以及封接后的電真空器件的主要氣源，伴隨著材料出氣還會出現表面化學反應這樣的次級過程。研究真空材料的出氣，主要是著眼于高溫出氣，原因有：

    1）對于準靜態的真空器件(如電子管、離子源等)，出氣速率隨溫度呈指數增加，所以不加高溫難以檢測。

    2) 高溫出氣可在短期之內放出材料中氣體的總量。因此便于得出含氣濃度的數據，并據此選材、并提出材料預處理工藝的規范。

    3) 一些最怕出氣的大功率電真空器件，某些部位處于高溫工作狀態。而某些結構材料如電極、靶材、蒸發源、加熱裝置等器件，在真空系統的工藝過程中常處于高溫狀態。

    一般認為，高溫放氣主要由體內的擴散過程所決定，表面脫附的氣體量僅占放氣總量的一小部分。玻璃。陶瓷、云母的高溫放氣，除了擴散過程加快外，與常溫放氣沒有本質差別。而金屬的高溫體擴散出氣則不同，由于在金屬內部溶解的氣體呈原子態，所以，在真空中放出的分子態氣體往往是經過表面反應才形成的。一般金屬放氣的種類是H₂、CO、CO₂、H₂O、N₂和O₂，而且以H₂、CO、CO₂、H₂O居多。其中H₂、N₂先以原子態擴散逸出，再在表面上結合成分子態。CO、CO₂是由擴散到表面的C與表面上的金屬氧化物或氣相中的O₂、H₂O反應生成的。也有一些金屬(如Ni、Fe)主要受氧在體內擴散的控制，因此，對金屬進行脫碳處理可降低CO、CO₂的出氣。H₂O有的直接來自表面氧化層，有的則由體內擴散的氫與表面氧化物反應合成。

    玻璃、金屬的表面層也是高溫放氣的重要來源。為此采用各種表面處理工藝，如化學清洗、有機蒸氣去脂、拋光、腐蝕、大氣烘烤氧化等，都能大大降低材料的放氣。

(慧樸科技，huiputech)