根據相平衡理論，在不同的溫度下，蒸氣作用于金屬表面的平衡壓力(蒸氣壓)是不同的。溫度高蒸氣壓就高，固態金屬的蒸發量就大；溫度低蒸氣壓就低，如果溫度一定，則蒸氣壓也就有一定的值。當外界的壓力小于該溫度下的蒸氣壓時，金屬就會產生蒸發(升華)現象。猶如樟腦在空氣中因升華作用而從固體變成氣體揮發掉一樣。外界的壓力越小，即真空度越高，就越容易蒸發。同理，蒸氣壓越高的金屬也越容易蒸發。

    因此，在真空熱處理時，對蒸發問題應予以應有的重視，那種認為只要提高真空度，就能夠取得良好效果的看法是不全面的。必須根據工件的種類，充分注意蒸發的問題。即根據被處理金屬材料中合金元素在熱處理時的蒸氣壓和加熱溫度，來選擇合適的真空度，以防止合金元素蒸發逸出。

各種常用金屬的蒸氣壓與溫度的關系