大型真空系統(tǒng)及工廠生產(chǎn)用的真空設(shè)備多用金屬材料制成。金屬材料的最大優(yōu)點是機械強度高，不易破壞。金屬的飽和蒸氣壓較低，因而主要應(yīng)該考慮的問題是其氣密性及放氣速率。

    為了滿足氣密性及放氣性的要求，必須保證：

    (1)金屬材料沒有氣孔和裂紋。因為氣孔和裂紋的存在不僅會造成漏氣，使其無法滿足氣密性的要求，而且由于氣孔及裂紋中存有雜質(zhì)，會大量放氣。

    (2)金屬材料的內(nèi)表面必須足夠光滑，以減少吸附氣體的表面積及便于清洗。

    (3)必須對金屬的內(nèi)表面進行嚴格的清潔處理，以清除附著在金屬表面上的雜質(zhì)，這些雜質(zhì)容易在真空中放氣。

    常用來制造真空容器的金屬材料有碳鋼、不銹鋼、合金鋼不銹復(fù)合鋼板、銅鋁及金等。鑄鐵由于其多孔，而只能用于真空度較低的系統(tǒng)中。