第一支溫度傳感器于1978年由薩修耳發明，人們對于濕敏器件的認識于1938年，美國人F.W.Dummore成功研究氯化鉀濕敏元件。由于濕敏元件在測量濕度時，需暴露在待測環境中，很容易腐蝕，老化，從而喪失應有的性能。直至現在，都難以制作長期穩定的濕敏元件。人們對濕度的表示方法有：絕對濕度、相對濕度、露點濕度等等。絕對濕度指單位面積里水氣的質量；相對濕度指待測空氣中水氣壓與同溫下水的飽和水氣壓的百分比值；露點指空氣中的水汽凝結為露珠時的溫度。濕度傳感器的主要參數有:濕度量程、靈敏度、濕度系數、響應時間扽等，在此解釋一下濕度系數的概念。濕度系數是濕度與溫度的相關關系，也就做濕度溫度系數，指的是元件感濕曲線隨溫度變化的特性參數。參數值越大，說明由感濕特征量表示的環境相對濕度與實際濕度的誤差越大。

    濕度傳感器按濕度敏感元件分有電解質型、半導體及陶瓷型、有機物與高分子聚合物型等。電解質型濕度傳感器有無機電解質濕度傳感器、高分子電解質濕度傳感器、有機季銨鹽高分子電解質濕度傳感器和聚苯乙烯磺酸銨濕度傳感器。半導體陶瓷濕度傳感器主要按制作工藝分，它是濕度傳感器中最大一類。主要有涂覆膜型、燒結體型、厚膜型、薄膜型和MOS型。隨著化工技術的發展，有機物及高分子聚合物濕度傳感器也逐步完善，應用越來越多。主要感濕器件有脹縮性有機物濕敏元件和高分子聚合物薄膜濕敏元件。

    濕度傳感器的應用越來越多，有應用于軍事上的，有應用于農業上的，還有氣象上的等等。氣象觀測站可以采用耗電量很小的溫度傳感器，用蓄電池供電，然后用無線傳輸到數據中心，平時基本上不用維護。農業上比如倉庫管理，通過測量濕度，然后把數據給控制系統，當濕度高于某一值時，啟動自動去濕裝置。