第一支溫度傳感器于1978年由薩修耳發(fā)明，人們對(duì)于濕敏器件的認(rèn)識(shí)于1938年，美國人F.W.Dummore成功研究氯化鉀濕敏元件。由于濕敏元件在測(cè)量濕度時(shí)，需暴露在待測(cè)環(huán)境中，很容易腐蝕，老化，從而喪失應(yīng)有的性能。直至現(xiàn)在，都難以制作長期穩(wěn)定的濕敏元件。人們對(duì)濕度的表示方法有：絕對(duì)濕度、相對(duì)濕度、露點(diǎn)濕度等等。絕對(duì)濕度指單位面積里水氣的質(zhì)量；相對(duì)濕度指待測(cè)空氣中水氣壓與同溫下水的飽和水氣壓的百分比值；露點(diǎn)指空氣中的水汽凝結(jié)為露珠時(shí)的溫度。濕度傳感器的主要參數(shù)有:濕度量程、靈敏度、濕度系數(shù)、響應(yīng)時(shí)間扽等，在此解釋一下濕度系數(shù)的概念。濕度系數(shù)是濕度與溫度的相關(guān)關(guān)系，也就做濕度溫度系數(shù)，指的是元件感濕曲線隨溫度變化的特性參數(shù)。參數(shù)值越大，說明由感濕特征量表示的環(huán)境相對(duì)濕度與實(shí)際濕度的誤差越大。

    濕度傳感器按濕度敏感元件分有電解質(zhì)型、半導(dǎo)體及陶瓷型、有機(jī)物與高分子聚合物型等。電解質(zhì)型濕度傳感器有無機(jī)電解質(zhì)濕度傳感器、高分子電解質(zhì)濕度傳感器、有機(jī)季銨鹽高分子電解質(zhì)濕度傳感器和聚苯乙烯磺酸銨濕度傳感器。半導(dǎo)體陶瓷濕度傳感器主要按制作工藝分，它是濕度傳感器中最大一類。主要有涂覆膜型、燒結(jié)體型、厚膜型、薄膜型和MOS型。隨著化工技術(shù)的發(fā)展，有機(jī)物及高分子聚合物濕度傳感器也逐步完善，應(yīng)用越來越多。主要感濕器件有脹縮性有機(jī)物濕敏元件和高分子聚合物薄膜濕敏元件。

    濕度傳感器的應(yīng)用越來越多，有應(yīng)用于軍事上的，有應(yīng)用于農(nóng)業(yè)上的，還有氣象上的等等。氣象觀測(cè)站可以采用耗電量很小的溫度傳感器，用蓄電池供電，然后用無線傳輸?shù)綌?shù)據(jù)中心，平時(shí)基本上不用維護(hù)。農(nóng)業(yè)上比如倉庫管理，通過測(cè)量濕度，然后把數(shù)據(jù)給控制系統(tǒng)，當(dāng)濕度高于某一值時(shí)，啟動(dòng)自動(dòng)去濕裝置。