【化工儀器網(wǎng) 行業(yè)百態(tài)】隨著科技的發(fā)展和進(jìn)步，微米量級(jí)的器件尺寸對(duì)測(cè)試技術(shù)提出新的挑戰(zhàn)，亟需更高精密度、更高靈敏度的測(cè)試技術(shù)。此外，芯片制程正在從二維走向三維，精密的測(cè)量三維芯片的關(guān)鍵尺寸，是助力半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的重要技術(shù)之一。三維測(cè)量，即以接觸或非接觸等方式對(duì)被測(cè)物進(jìn)行全方位測(cè)量，確定被測(cè)物的三維坐標(biāo)測(cè)量數(shù)據(jù)。三維測(cè)量的測(cè)量功能應(yīng)包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。

　　為推動(dòng)精密測(cè)量技術(shù)應(yīng)用，提高行業(yè)相關(guān)人員對(duì)三維測(cè)量儀器使用水平，化工儀器網(wǎng)聯(lián)合基恩士于2022年6月15日舉辦《精密測(cè)量技術(shù)在3C電子、半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用》網(wǎng)絡(luò)課堂，并特別邀請(qǐng)了國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目首席楊樹明以及基恩士3D測(cè)量顯微系統(tǒng)3D輪廓測(cè)量技術(shù)工程師 王靖元兩位老師擔(dān)任課程講師。
 

　　講師介紹
 

　　楊樹明 西安交通大學(xué)教授
 

　　國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目首席，陜西省重點(diǎn)科技創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)帶頭人，西安交通大學(xué)重大科技創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)帶頭人；國際納米制造學(xué)會(huì)(ISNM)會(huì)士、亞洲精密工程與納米技術(shù)學(xué)會(huì)(ASPEN)理事、中國計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)常務(wù)理事等。承擔(dān)國家及省部級(jí)重大重點(diǎn)項(xiàng)目30 余項(xiàng)，發(fā)表學(xué)術(shù)論文 150 多篇，授權(quán)/公開國際國內(nèi)發(fā)明專利 80 多項(xiàng)，獲教育部科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)、陜西省科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng)、中國機(jī)械工業(yè)科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng)、中國計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)等 7 項(xiàng)；研究成果入選中國科協(xié)首屆“科創(chuàng)中國”先導(dǎo)技術(shù)榜單。在國際學(xué)術(shù)會(huì)議應(yīng)邀做大會(huì)報(bào)告和特邀報(bào)告 30 余次，擔(dān)任 JMS、IJPEM-GT、IJRAT、NMME、MST、PE、IJAMT、Photonics 等國際權(quán)威期刊編委和客座編委等。
 

　　王靖元 基恩士3D測(cè)量顯微系統(tǒng)  3D輪廓測(cè)量技術(shù)工程師
 

　　現(xiàn)為基恩士3D測(cè)量顯微系統(tǒng)部門技術(shù)工程師，負(fù)責(zé)3D輪廓儀、形狀測(cè)量激光顯微系統(tǒng)的技術(shù)支持工作。在輪廓測(cè)量、平面度分析等方面有豐富經(jīng)驗(yàn)。
 

　　本期課程，兩位講師將分別以《半導(dǎo)體芯片檢測(cè)技術(shù)瓶頸及發(fā)展趨勢(shì)》和《非接觸式輪廓儀在3C電子行業(yè)的應(yīng)用》為題，進(jìn)行在線講座。課程內(nèi)容圍繞半導(dǎo)體發(fā)展要點(diǎn)和精密測(cè)量在3C電子行業(yè)中的應(yīng)用。全程干貨不容錯(cuò)過！趕快報(bào)名吧！點(diǎn)此進(jìn)入報(bào)名頁面