真空材料的表面凈化是為了清除表面吸附的油污，以減少材料在真空中的氣體放出。真空材料表面凈化的基本方法主要是有機溶劑清洗和超聲波清洗。有機溶劑清洗時，常用的清洗液有軟化水、乙醇、丙酮、金屬清洗劑等。

    超聲波清洗的工作原理是，向液體導入超聲波后，液體的激烈運動使局部產生壓強差。壓強低的部分會產生大量的氣泡，當壓強重新升高時，這些氣泡會在瞬間破裂，從而在液體中產生沖擊波。沖擊波會將固體表面的油污剝離。超聲波清洗用的液體一般采用酒精或丙酮。經過超聲波清洗的部件放到大氣中后，酒精或丙酮會立刻蒸發，不會在部件表面留下水垢。

    真空腔體以及內部部件的氣體放出量，和材料的表面積直接相關。固體表面的原子密度大約為2×10¹⁹/m²，考慮到表面的凹凸不平，實際的固體表面會吸附大量的氣體分子。通過拋光使表面更加平坦，可以大大減小表面積，從而減少表面吸附的氣體分子。拋光主要有玻璃丸噴砂和電解拋光兩種手法。

    玻璃丸噴砂處理成本低，但是處理后的固體表面粗糙度大，放出氣體仍然比較多，目前采用的越來越少。

    電解拋光的原理是將金屬部件放置于酸性的電解液中，金屬部件連接陽極，電極和容器作為陰極，通電使金屬部件面向陰極的凸起部分先溶解，金屬部件成分中的Fe和Ni原子溶入到電解液中，最終達到平滑表面的目的。靈活設置陰極電極，則對于筒狀的金屬部件內外表面都可以拋光，也可以對金屬部件進行選擇性局部拋光。

    電解拋光可消除金屬表面的細小凹凸(0.01um~幾um)，使其呈現金屬光澤，但是無法消除比較大的凹凸。電解拋光是典型的電化學拋光方法，表面形成的氧化膜也會減少氣體分子的吸附。

    還有一種特殊的表面處理方式，即向真空腔體內導入特殊氣體，在腔體內誘發放電，產生的離子撞擊腔體內壁而獲得平滑表面。

    經過表面凈化的真空腔體和部件，不可直接用手觸摸，以免手汗中的碳氫化物和氯化物污染；另外也要盡量避免塵埃和水汽等污染物。

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